深圳大学-竞价结果详情(CB105902017001374)
深圳大学-竞价结果详情(CB105902017001374)
基本信息: | |
申购单主题: | 膜反应器控制仪 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器仪表 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2017-10-09 14:39 |
竞价结束时间: | 2017-10-28 09:00 竞价已结束 |
申购备注: | 从司凤占老师的课题组经费中支出。 |
申购设备详情: |
中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
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自报价厂商:重庆瑶纳电子设备有限公司 | 膜反应器控制仪 | 1 | 重庆瑶纳电子设备有限公司 | D100-4882 | (1)卖方承诺产品自验收确认之日起免费保修2年(易耗品除外),因设备搬迁、环境以及人为等非正常因素造成的设备故障不在保修之列。(2)由于买方自行改装或拆卸造成设备出现故障不在保修之列。(3)保修期满后,卖方对设备负责终身维修。维修所产生的材料费由买方承担,卖方免收工时费。本设备所需配件为国内外正规厂家生产,长期有货可供。买方可委托卖方代购所需材料,也可自行购买所需材料,卖方提供生产厂家信息。(4)卖方接到故障报告起4小时内回复解决方案;遇到客户无法解决的问题,自保修之日起3-5工作日内到达设备使用现场排除故障。(5)设备交付使用后,如有技术改进,免费进行系统升级。(6)设备使用后,每年进行定期无故障回访。 | (一) 设备采用不锈钢设备框架,采用定制抗指纹不锈钢,钢板厚度高达2 mm;(二) 样品基片尺寸:4英寸;(三) 一体式不锈钢抛光反应器1) 不锈钢圆形反应腔。反应器内径为150毫米,满足基片尺寸4英寸要求;2) 反应器加热温度:室温~400 ℃;精度±0.3 ℃;3) 反应器采用浇铸电阻丝进行加热并导热,便于温度均匀性调控;4) 反应器盖子采用双层设计,并填充保温层,增加温度稳定性和均匀性。(四) 采用8通道阀岛(德国费斯托)集成气动控制系统(最大可扩展至7路前体源);1路用于控制尾阀。4路用于控制前体源(最大可扩展至7路源)。(五) 采用8通道高精度PID温控系统(厦门宇电);温控精度±0.3℃;固体继电器控温,节能高效。(六) 载气采用数字流量计(七星华创)程序控制;(七) 真空泵系统:真空机械泵与相关管路;采用临海谭氏真空泵,抽速4L/s,KF快接接口,方便装卸。(八) 尾气吸附肼1套,真空泵上面配备专用油雾过滤器,以吸附过量的反应物,从而保护真空泵。(九) 控制系统: 1) 本设备由电脑控制(非PLC方式)。方便程序升级、更新、镀膜工艺加载和保存。2) 沉积软件采用高度集成整合界面,可在同一界面方便对镀膜参数进行控制。3) 程序自动记录沉积参数(截屏保存)、气压、沉积线路等,利于长久保存、方便查询及故障检查。4) 快速和高纵深比两种模式可选:程序可任选两种模式中的一种,一键设定,方便可选。5) 沉积序列设置方便,可交替循环,实现多层交替复合膜、多层多组分变化的梯度膜的设计与制备。6) 程序设计有最高气压限制、温度范围限定,可防止CVD反应。(十) 集成整合界面自动控制软件;程序控制两种工作模式(Flow type和Closed type)可选。 | 162000.0 | 总价最低原则 |
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