12吋晶圆厂氮化钛之化学气相沉积系统等中标结果

12吋晶圆厂氮化钛之化学气相沉积系统等中标结果

项目名称:合肥晶合集成电路有限公司12吋晶圆厂氮化钛之化学气相沉积系统等
项目编号:****-********3204/05
招标范围:12吋晶圆厂氮化钛之化学气相沉积系统、12吋晶圆厂铝金属之物理气相沉积系统、12吋晶圆厂钛金属与氮化钛之物理气相沉积系统、12吋晶圆厂钨金属栓塞之化学气相沉积系统、12英吋高电流离子注入机、浅沟槽隔离及金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统和二氧化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统
招标机构:上海机电设备招标有限公司
招标人:合肥晶合集成电路有限公司
开标时间:2017-11-02 10:00
公示时间:2017-11-03 17:04 - 2017-11-06 23:59
中标结果公告时间:2017-11-07 15:07
中标人:AppliedMaterialsSouthEastAsiaPte.Ltd.
制造商:Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.
制造商国家或地区:美国


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 化学气相沉积 晶圆 集成电路

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