感应耦合等离子体刻蚀机中标结果
感应耦合等离子体刻蚀机中标结果
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 感应耦合等离子体刻蚀机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 专用设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2017-12-06 10:31 |
| 竞价结束时间： | 2017-12-09 10:29 竞价已结束 |
| 申购备注： | 必须是西安本地公司参与竞价 |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 自报价厂商：西安凌空进出口贸易有限公司 | 感应耦合等离子体刻蚀机 | 1 | 金盛微纳 | ICP-500 | 1.必须提供制造商出具的对于本项目签字盖章的唯一原件产品授权书。2.质保期：保证货到验收后2年。在开箱后使用过程中发现质量及技术参数出现问题，必须无条件更换且接到电话2小时内做出响应，电话不能解决的，必须在48小时内现场解决。3.必须提供原厂制造商售后服务承诺书4.要求必须原厂技术工程师现场进行安装、培训及技术指导。5.必须提供原生产商不低于5年的生产资质，产品质量获得过ISO或同等质量体系认证。 | 1.极限真空度: 9×10-5Pa（环境湿度≤55%）2. 刻蚀材料: SiO2、 Si3N4、深刻Si等3. 刻蚀速率：0.01 ~ 2μ/min 4. 刻蚀均匀性: ≤±5％ (φ125mm范围内)5. 电极尺寸: φ200mm6. 反应室尺寸：φ300×280mm（约）7. 样片尺寸：≤ 5〞（小于5吋的不规则样片都可）8. 真空泵源: 分子泵一台(抽速600升/秒)；TRP-36直联旋片式真空泵一台9. 真空阀门： 150口径气动插板阀一个；40口径高真空电磁气动隔断阀两个；机械泵口压差阀一个10. 射频功率源: RF500W, RF1000W射频电源各一套11.气路系统: 四台质量流量控制器（国产）控制四路气体进气；阀门：五台1/4英寸气动阀；12. 真空测量：复合真空计一台(成都睿宝电子仪器有限公司出品)13. 恒压系统： 薄膜规一个（进口）, 可调节阀一套14. 包含自动控制系统一套 | 483000.0 | 总价最低原则 |
标签: 西安交通大学
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