全自动磁控溅射仪中标结果
全自动磁控溅射仪中标结果
基本信息: | |
申购单主题: | 全自动磁控溅射仪 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 专用设备 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2017-12-05 21:50 |
竞价结束时间: | 2017-12-08 21:50 竞价已结束 |
申购备注: | 必须是西安本地授权经销商参与竞价。 |
申购设备详情: |
中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
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西安凌空进出口贸易有限公司 | 全自动磁控溅射仪 | 1 | 金盛微纳 | MSP-620X | 1.提供了原厂制造商对于本项目出具的签字盖章的唯一原件产品授权书。2.保证货到验收合格后2年质保。在开箱后使用过程中发现质量及技术参数出现问题,必须无条件更换且接到电话2小时内做出响应,电话不能解决的,必须在48小时内现场解决。3.在西安当地具有完善的售后服务,货到一周内派遣工程师进行现场开箱、安装调试及培训工作,直至用户熟练操作使用,后续保持24小时内响应; 4.提供了产品质量获得过ISO或同等质量体系认证的资质。 | 1. 极限真空: 1.0×10-5Pa 2.溅射材料: 各种金属膜、合金膜、介质膜3. 反应室规格:φ450×350mm4. 溅射靶规格: φ2英寸5. 溅射靶数量: 四靶倾斜下置6. 均匀性: ≤±2%7. 载片量:4吋单片8. 样片台可回转,转速可调。9. 样片衬底可加热, 加热温度≤500℃,可自动控温,测温。10.溅射形式:可实现单层膜溅射,复合膜溅射,多层膜交替或共溅射等。11. 真空泵源:分子泵一台(抽速600升/秒);直联旋片式真空泵一台(抽速9升/秒)12. 功率源: 射频电源RF1000W一套,带自动匹配。直流脉冲电源MC1000W一台;直流电源DC1000W一台13. 气路系统:质量流量控制器三个 (管路阀门:进口)14. 真空测量:复合真空计一台15.恒压控制系统:薄膜规一个(进口件) 可调节阀一套16. 自动控制系统一套(含工控机、PLC控制器、触摸显示屏、 控制电路等) | 486050.0 | 总价最低原则 |
标签: 西安交通大学
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