闽咨造价-国际公开招标-1212-174XMMZ00001福建省福联集成电路有限公司化学机械研磨机采购项目公告
闽咨造价-国际公开招标-1212-174XMMZ00001福建省福联集成电路有限公司化学机械研磨机采购项目公告
化学机械研磨机;数量:1台;简要技术要求:1.运用化学机械的研磨、抛光方式移除晶背研磨后造成的砷化镓基板表面损伤层;2、运用化学机械的研磨、抛光方式将氮化硅薄膜做平坦化;其他详见招标文件;政府采购。
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