反应离子刻蚀机中标结果
反应离子刻蚀机中标结果
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 反应离子刻蚀机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 科研设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2017-12-25 10:04 |
| 竞价结束时间： | 2017-12-28 12:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | 采购一台反应离子刻蚀机，用于学生石墨烯刻蚀实验。 |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 江苏鲁汶仪器有限公司 | 反应离子刻蚀机 | 1 | 无 | 无 | 按行业标准提供服务 | 样品室：6英寸；刻蚀不均匀性：<5%；射频电源：500W，带自动匹配器；分子泵：中科科仪油润滑分子泵，抽速>600L/s；机械泵：抽速≧9L/s；自动压力控制系统，Inficon品牌真空计；工艺气路：4条，分别为Ar,O2,SF6,CHF3 ；流量计：Horiba品牌数字流量计 ，量程可根据需求修改；冷却方式：水冷；控制系统：刻蚀过程全自动化控制，软件终身免费升级；提供冷水机一台；刻蚀材料：石墨烯,Si,SiO2，光刻胶等；货期：签订合同后4周；送货地点：中科院重庆研究院；付款方式：验收合格后付80%，质保期后付20%；质保期：整机验收合格后12个月。 | 245000.0 | 满足技术指标，总价最低原则 |
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