无掩模数字光刻机中标结果
无掩模数字光刻机中标结果
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 无掩模数字光刻机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 专用设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-01-18 10:15 |
| 竞价结束时间： | 2018-01-21 12:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 自报价厂商：中国科学院光电技术研究所 | 无掩模数字光刻机 | 1 | IOE | DS-2000/14K | 按行业标准提供服务 | ?光源：紫外LED（曝光谱线： i线）；?照明均匀性：≤±2%；?物镜倍率： 缩小7.56倍； ?曝光场面积：2.56mm×1.6mm；?光刻分辨力： 1μm；?工件台运动范围：X：100mm、 Y：100mm；?工件台运动定位精度：±0.65μm； ?调焦台运动灵敏度：1μm；?调焦台运动行程：6mm；?检焦：CCD检测，检测精度2μm ；?转动台行程：±6°以上；?基片尺寸：外径:Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm。照明系统配置包括：紫外LED、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组、365nm滤光片、电子快门、DMD（美国德州仪器）、冷却风扇。¨ 投影物镜配置：缩小7.56倍。¨ 工件台系统配置包括：X台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本NSK）、导轨2（日本THK）、光栅（美国）；Y台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本NSK）、导轨2（日本THK）、光栅2（美国）；Z台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机构； 转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系；承片台：4英寸、3英寸、2英寸、1英寸四个。¨ 检焦系统配置包括：焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软件；¨ 电控系统配置包括：汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器（19英寸液晶）、接口。¨ 控制柜桌。¨ 气动系统配置包括：电磁阀、真空表等。3．附（备）件配置包括：? 真空泵一台(无油泵、SK-65C型)；? 配套接口管道； | 400000.0 | 总价最低原则 |
标签: 西安交通大学
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