等离子体增强方式氮化硅/二氧化硅薄膜化学气相沉积设备（高介电常数工艺段）中标结果
等离子体增强方式氮化硅/二氧化硅薄膜化学气相沉积设备（高介电常数工艺段）中标结果
项目名称：上海华力集成电路制造有限公司等离子体增强方式氮化硅/二氧化硅薄膜化学气相沉积设备（高介电常数工艺段）
项目编号：****-********4773/04
招标范围：等离子体增强方式氮化硅/二氧化硅薄膜化学气相沉积设备（高介电常数工艺段）
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：上海华力集成电路制造有限公司
开标时间：2018-01-30 09:30
公示时间：2018-01-31 17:18 - 2018-02-05 23:59
中标结果公告时间：2018-02-22 00:22
中标人：Lam Research International Sarl
制造商：Lam Research International Sarl
制造商国家或地区：瑞士
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