中南大学-竞价结果详情(CB119422018000769)
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| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 三靶金属氧化物薄膜沉积系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | ******** 实验仪器及装置 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-03-26 15:22 |
| 竞价结束时间： | 2018-03-29 11:19 竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 三靶金属氧化物薄膜沉积系统 | 1 | 沈阳科仪 | TRP-450 | 1、设备质保期为1年，自双方签署最终验收合格报告之日起2、在保修期内，设备在正常使用维护条件下发生故障或损坏，投标方应负责免费维修，所需换件费用和人工费用、均由投标方承担。3、保修期满后，我司收费只收工本费。4、无论保修期内、外，我司在接到用户故障信息后1小时内响应，如有必要、在24小时内派工程师到达现场、检查和排除故障。一般问题应在1个工作日内解决，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在3天内解决或提出明确解决方案。 | 一、系统的主要组成及技术指标溅射室极限真空度：≤4x10-5 Pa (经烘烤除气后)；真空获得采用分子泵和优质机械泵（TRP-36,9L/S）+CF150气动插班阀，此配置具有抽速快，可获得高真空环境，提供薄膜的洁净度。系统真空检漏漏率：≤3.0x10-7Pa.l/S；系统从大气开始抽气：溅射室30分钟可达到8x10-4 Pa；系统停泵关机12小时后真空度：≤4Pa；1、溅射真空室1套真空室为圆筒形前开门结构，尺寸Ф450mmx400mm，全不锈钢结构。可内烘烤到100～150℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊电化学抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；手动前开门结构；靶安装在下盖板，基片转台在上法兰。真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：1.1、RF300法兰接口：1个（用来安装磁控靶和靶挡板）1.2、RF300法兰接口：1个（用来安装样品台）1.3、CF150法兰接口：1个（接分子泵）1.4、CF100法兰接口：1个（观察窗口）；1.5、CF63法兰接口：1个（观察窗口）；1.6、CF35法兰接口：5个(接高真空电离规管、旁抽口、陶封引线,膜厚仪备用接口、备用1个)；1.7、CF16法兰接口：5个（工艺气进气管路、电阻规、放气阀、备用）；2、磁控溅射系统3套2.1、靶材尺寸：Ф60mm；2.2、提供靶材：不锈钢测试靶材3块2.3、永磁靶（其中一个可溅射磁性材料)，射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷；2.4、进口SMC旋转气动控制挡板组件：3套；2.5、靶在下，向上溅射，共焦磁控溅射靶（溅射靶角度可调），分布在一个圆周上，各靶可独立/顺次/两两/共同工作；2.6、磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90~130mm。3、窗口及法兰接口部件 1套3.1、CF63玻璃窗口：1块； 3.2、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；3.3、盲法兰：CF16：2个；CF35：2个。4、安装机台架组件1套优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动。 | 99300.0 | 总价最低原则 |
标签: 大学
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