紫外光刻机中标结果
紫外光刻机中标结果
基本信息: | |
申购单主题: | 紫外光刻机 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | ******** 光学仪器 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2018-05-03 10:44 |
竞价结束时间: | 2018-05-06 18:00 竞价已结束 |
申购备注: | |
申购设备详情: |
中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
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中国科学院光电技术研究所光学元件厂 | 紫外光刻机 | 1 | 中国科学院光电技术研究所 | URE-2000/30型 | 按行业标准提供服务 | 1.技术目标(指标):?曝光面积:100mm×100mm;?曝光波长:365nm;?分辨力:≤1mm(胶厚1.5 mm的正胶);?对准精度:±0.8mm;?显微镜扫描台运动范围:X:10mm;Y:10mm;?掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;?样片尺寸:直径f15mm-- f100mm(各种不规则片)、厚度0.1mm--6mm;?曝光方式:定时(倒计时方式);?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能?照明不均匀性: 3%(f100mm 范围);?双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过CCD 显示器对准,光学合像,光学最大倍数400倍,光学 电子放大800倍,?掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6?;?最大焦厚:400mm(SU8胶,用户提供检测条件);?光源平行性:3 ?;?曝光能量密度:>25mW/cm2,照明面温度<35 ?C;?汞灯功率:350W(直流,进口汞灯);?调平接触压力通过传感器保证重复性;?可数字设定对准间隙和间隙;?具备压印模块接口,也具备接近模块接口。 2.整机构成与配置明细 (1)曝光头系统包括: ● 冷光椭球镜● 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)● XYZ汞灯调节台● 冷却风扇● 光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2 (2)对准工件台系统包括: ● 光刻机底座;● 工位切换台(气缸);● 掩模样片整体运动台;● 掩模样片相对运动台;● 转动台;● 样片调平机构,三点自动完成;● 样片调焦机构,电机自动调;?基片抽拉式上下机构;?承片台4个:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm;?掩模夹4个:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;?样片抽拉式上下机构。 (3)对准显微镜系统包括: ?光源、电源;?双目双视场对准显微镜主体;?目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个);?物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个);?CCD对准系统,22寸液晶显示器; (4)电控系统系统包括: ?汞灯触发电源(350W直流汞灯);?单片机控制系统;?控制面板;?控制柜桌 ; (5)气动系统系统包括: ?气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等;?电磁阀驱动;?气动仪表; (6)其他附件配置包括: ?真空泵一台(无油泵 );?空压机一台(无油静音型 );?配套接口管道;?紫外幅照计一台。 (7)技术资料● 操作使用及维护说明书;● 产品检验合格证。(8)外形尺寸:≤1200mm(长)*700mm(宽) *1500mm(高) | 190000.0 | 总价最低原则 |
标签: 大学
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