“清华大学提拉法晶体生长炉采购项目”项目（项目编号：清设招第*******号） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

一、项目信息

项目编号：清设招第*******号

项目名称：清华大学提拉法晶体生长炉采购项目

项目联系人：王慧

联系方式：********

二、采购单位信息

采购单位名称：清华大学

采购单位地址：北京市海淀区清华大学

采购单位联系方式：王慧********

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

********6">1．仪器用途

提拉法晶体生长炉主要用于大尺寸高纯锗晶体生长，生长出的超高纯锗晶体可制造探测器，用于进行暗物质探测。该设备也可以用于其他晶体生长，如蓝宝石晶体、激光晶体、光伏晶体、单晶硅等，可应用于红外窗口材料、激光测量、半导体衬底材料、光伏领域以及其他半导体探测器等。

********7">2．工作条件

2.1工作温度和湿度：工作温度：24±1.5℃，环境湿度小于70%。

2.2 电力要求：电源：三相五线50Hz 380V±10%，70KW;

2.3设备冷却水：去离子水，水流量不低于80L/MIN,水压不低于0.3MPa,温度24±1.5℃，温度波动速度不大于1℃/H。

2.4场地尺寸：长3000mmx宽2000mmx高3400mm

********8">3．配置要求

3.1 主机：机架，称重系统，提拉电机，旋转电机，真空密封金属波纹管，编码器，二套浮子流量计，一套充气压力测量和控制单元，籽晶杆及调中机构，水流传感器等。

3.2 控制柜：工控计算机，在线式UPS电源，提拉及旋转驱动控制器，报警保护系统，真空测量表头，编码器显示表，手控盒，各种低压电源及按键，控制软件。

3.3中频电源及匹配器以及2个线圈（镀银）。

3.4真空部分：干泵，分子泵，真空阀门、真空检测系统、自动控制系统。

********9">4．技术要求

4.1 中频加热，电源的额定输出功率不小于50kW；

★4.2中频功率控制精度不低于1‰；

4.3 中频电源频率范围在6到16KHz；

▲4.4优先考虑炉膛内部直径在800mm-850mm范围内的投标

4.5生长炉采用干泵和分子泵抽真空；

▲4.6生长炉内真空度≤1.5x10-3Pa（真空阀门打开）；

★4.7生长炉真空泄露率不大于5Pa/h（真空阀门关闭）；

▲4.8生长炉内至少可充高纯氢气和高纯氮气两种气体，每种气体的压力和流量可控；

4.9生长炉内气体相对压力范围在0到0.05MPa；

4.10籽晶杆提拉装置有效行程不小于550mm；

▲4.11籽晶杆提拉速度范围：至少覆盖0.1mm/h到100mm/min,可以自动控制和手动线控；

********6">★4.12提拉系统爬行不大于1μm；

4.13籽晶杆采用不锈钢材料；

4.14籽晶杆旋转速度范围0到40r/min；

★4.15生长炉配有称重装置，有效称重量程不小于30kg，称重显示分辨率10mg;

4.16生长炉配有坩埚自动升降旋转单元；

▲4.17优先考虑生长炉配有气压、水压和氢气泄漏监测仪表及相应的安全连锁机构；

▲4.18优先考虑生长炉配有温度控制和测量装置；

▲4.19优先考虑生长炉配有生长界面影像监测装置的投标；

4.20 控制系统预留称重信号处理接口。

四、中标信息

招标公告日期：2018年06月15日

中标日期：2018年06月05日

总中标金额：0.0 万元（人民币）

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

中 标 人：中国电子科技集团公司第二十六研究所

地 址：重庆市南岸区南坪花园路14号

中标金额：110万元人民币

本项目招标代理费总金额：万元（人民币）

本项目招标代理费收费标准：

评标委员会成员名单：

张清军、张绍锋、王宏智、张勤俭（前述专家均为自选专家）、宫辉

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

提拉法晶体生长炉 1台 JGD800等 110万/套

包括设备安装、调试、检验、使用培训、技术服务等

质保期：验收之日起3年

五、其它补充事宜