原子层沉积仪中标结果
原子层沉积仪中标结果
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 原子层沉积仪 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-07-09 16:44 |
| 竞价结束时间： | 2018-07-16 10:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 嘉兴科民电子设备技术有限公司 | 原子层沉积仪 | 1 | 嘉兴科民 | TALD-100R | 按行业标准提供服务 | 1、工作条件环境温度：20-25℃；相对湿度：20-80％；工作电压：220V，50 Hz2、腔体结构及加热控制2.1 沉积腔室材质304不锈钢，反应腔室的空间高度不超过10mm；2.2 腔室内设有可拆卸内衬，腔室及真空抽气管路的连接采用耐温含氟橡胶圈密封；*2.3 真空漏率小于5*10-7Pa.L/s，0.3um以上颗粒度增加值＜120颗；2.4 样品台尺寸4inch，表面设有片托，可放置4inch圆片并兼容以下尺寸；2.5 加热盘温度能够加热到300℃，控制精度为±1℃；3、前驱体源管路结构及加热控制3.1 加热前驱体源系统1路，加热源装置及输运管路的最大加热温度可达到200℃，温度控制精度为±1℃，其到反应腔的管路系统配置保温隔热功能；每路加热源配备Swagelok快速高温ALD专用阀门、高温手动阀和50mL不锈钢源瓶；3.2 常温源1路，配备Swagelok快速ALD专用阀门、低温手动阀和200ml水源瓶；3.3 前驱体源系统在更换源料瓶后，管路及其与之相联接的管路和阀门系统具有在线清洗功能；3.4 工艺气体管路均采用电抛光不锈钢材料，所有气体管路连接部件均采用金属VCR密封；3.5 具有两种沉积模式：连续模式和停流模式模式；（详细见附件） | 149500.0 | 单项低价原则 |
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