物电学院采购手动反应离子刻蚀机

招 标 正 文
 

物电学院采购手动反应离子刻蚀机

基本信息
  • 竞价主题：物电学院采购手动反应离子...
  • 供应商：北京金盛微纳科技有限公司
  • 联系电话：已隐藏
  • 竞价总价：250000.00
  • 竞价编号：JJ180*****001668
  • 竞价单报价人：林平
  • 联系手机：已隐藏
  • 送货日期： 签订合同后7天送货。
备注
无



产品信息
  • 详情
  • 序号
  • 产品名称
  • 产品类别
  • 标配
  • 单位
  • 数量
  • 应标品牌
  • 应标型号
  • 产地
  • 偏离说明

  • 1
  • 手动反应离子刻蚀机
  • 实验仪器及装置
  • 否
  • 套
  • 1.00
  • 北京金盛微纳科技有限公司
  • RIE-5
  • 北京
  • 无偏离


  • 产品规格：
    一.系统描述本设备为单室高真空系统，它主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、冷却系统、报警系统等组成。真空系统由一个分子泵（抽速600升/秒）+ 一个直联旋片式真空泵（抽速9升/秒）组成抽气系统, 将真空室抽至高真空, 分子泵与真空室之间装有一个手动插板阀,直联旋片式真空泵为真空室予抽泵及分子泵前级泵。直联旋片式真空泵与真空室之间及与分子泵之间均采用不锈钢硬管及波纹管连接, 并装有电磁气动隔断阀。功率源采用RF1000W射频电源。并带有自动匹配器。气路系统采用四个质量流量控制器控制四路气体进气。气体管路采用1/4英寸不锈钢硬管（进口件），管路接头连接形式采用双卡套连接。本设备设有安全保护及报警系统。二．技术指标1. 反应室数量：单室2. 极限真空： 2.0×10-4 Pa（环境湿度≤55%）3. 刻蚀材料: Poly-Si、Si、碳类等4. 刻蚀速率：0.01 ~ 1μ/min5. 刻蚀均匀性: ≤±5％（均匀性≤φ125mm）6. 反应室规格: φ300110mm7. 电极尺寸: φ200mm8. 样品尺寸：φ5吋单片（或小片多片）三. 设备配置1.真空泵源：分子泵一台(抽速600升/秒)直联旋片式真空泵一台(抽速9升/秒)2. 功率源: 射频电源RF1000W一套。3. 气路系统: 四台质量流量控制器控制四路进气（管路阀门：进口）4. 真空测量：复合真空计一台5．刻蚀电极冷却循环水机：一台序号产品名称数量品牌型号主要技术参数1刻蚀室,抽气管路,观察窗口,测量接口 , 进气接口,充气接口等 1北京金盛微纳非标刻蚀室尺寸φ3002机架,电柜,密封件，标准件等1北京金盛微非标电柜610mm *650mm *1850mm机柜870mm *800mm *1047mm3刻蚀室开关盖系统1北京金盛微纳非标气缸开盖系统4刻蚀电极台系统1北京金盛微纳非标刻蚀电极台尺寸φ2005分子泵（抽速600升/秒）1国产FF150/600抽速600升/秒6机械泵（抽速9升/秒）1北仪优成TRP-36抽速9升/秒7手动插板阀1北京金盛微纳CC-150CF150接口8真空阀门3北京金盛微纳KF16/KF40KF16/KF409射频电源/匹配器1国产RF1000WRF1000W10质量流量控制器4北京七星华创D07流量0-200sccm11流量显示仪1北京七星华创D08-4E显示4路气的流量12手动截止阀8北京七星华创1/4英寸1/4〞接口13不锈钢管、管接头等8进口1/4英寸1/4〞接口14复合真空计1成都睿宝ZDF-5227测量范围：1.0×10?5?～1×10?-5?Pa15冷却水检测及管路系统1北京金盛微纳非标测量范围0.5-3.5m3/h16压缩空气检测及管路系统1北京金盛微非标测量范围0.4-0.6MPa17刻蚀电极冷却循环水机1惠诚佳仪HX低温智能恒温槽（16℃～1℃）（刻蚀样片台专用）

    应标规格：
    本设备为单室高真空系统，它主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、冷却系统、报警系统等组成。真空系统由一个分子泵（抽速600升/秒）+ 一个直联旋片式真空泵（抽速9升/秒）组成抽气系统, 将真空室抽至高真空, 分子泵与真空室之间装有一个手动插板阀,直联旋片式真空泵为真空室予抽泵及分子泵前级泵。直联旋片式真空泵与真空室之间及与分子泵之间均采用不锈钢硬管及波纹管连接, 并装有电磁气动隔断阀。功率源采用RF1000W射频电源，并带有自动匹配器，电源可控。气路系统采用四个质量流量控制器控制四路气体进气。气体管路采用1/4英寸不锈钢硬管（进口件），管路接头连接形式采用双卡套连接。本设备设有安全保护及报警系统。

    售后服务：
    ?保修质量问题乙方负责免费维修；由人为因素造成设备损坏的不属保修范围，维修费用由甲方支付。1、免费保修期三年。2、机械泵油、分子泵油属消耗品，真空规管属易损件,均不属保修范围。3、保修期内每年至少上门服务一次。4、保修期过后，维修事宜由乙方负责联系厂家，甲方需向该厂家付相应的购买或设备维修费用。5、保修期过后，如需乙方到现场协助维修时，甲方应支付乙方相应费用。6、质保期内设备质量出现问题，接到报修通知后，1小时响应，需要到达现场解决时，一个工作日内到达。7、提供7×24小时技术支持热线电话。免费提供7X24小时的email技术支持，并且在24小时内回复。8、终身上门服务，甲方应支付乙方相应费用。?免费培训2-3人，培训可在乙方进行（设备发货前），也可在甲方进行。具体培训方式由双方届时协商。?保质期从最终验收合格之日起开始计算。?培训内容包括：设备原理及结构、使用方法、维护，基本工艺实验。

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 刻蚀 学院

0人觉得有用

招标
业主

-

关注我们可获得更多采购需求

关注
相关推荐
 
查看详情 免费咨询
搜索

最近搜索

无

热门搜索

无