12吋晶圆快速退火处理系统(Lamp),铝金属之物理气相沉积系统等预中标结果

12吋晶圆快速退火处理系统(Lamp),铝金属之物理气相沉积系统等预中标结果

项目名称:合肥晶合12吋晶圆制造基地项目12吋晶圆快速退火处理系统(Lamp),铝金属之物理气相沉积系统等
招标项目编号:****-********3050
招标范围:1快速退火处理系统(Lamp)1套2铝金属之物理气相沉积系统1套3钛金属与氮化钛之物理气相沉积系统1套4钴金属之物理气相沉积系统1套5金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统2套6二氧化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统(PETEOS)1套
招标机构:上海机电设备招标有限公司
招标人:合肥晶合集成电路有限公司
开标时间:2018-09-26 10:00
公示开始时间:2018-09-26 18:33
评标公示截止时间:2018-09-29 23:59
中标候选人名单:

候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区
1Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.(登录名chinaakt)新加坡

标签: 气相沉积 物理 金属

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