等离子体增强化学气相沉积系统,化学气相沉积系统采购结果公告
等离子体增强化学气相沉积系统,化学气相沉积系统采购结果公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 等离子体增强化学气相沉积系统,化学气相沉积系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 科研仪器设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-10-30 14:56 |
| 竞价结束时间： | 2018-11-06 10:00竞价已结束 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 武汉畅天达科技有限公司 | 化学气相沉积系统 | 1 | 贝意克 | BTF-1200C-CVD | 按行业标准提供服务 | 一、 加热炉1.系统配置有WiFi模块，可以连接手机，进行数据采集，存储为电子表格模式，方便生成表格资料，供实验报告使用2.系统可以预设30条加热曲线，方便不同的材料做实验，带预热炉预热功能3.极限温度1200℃，单温区，恒温区200mm，程序控温，控温精度±5度，带数控导轨，另外需要增加预热器一台，对于前置小加热器，有以下要求：1、 适用管径：25mm2、 可控升温速率范围：≤60℃/min3、 带有温度控制器温度显示组件二、气路流量柜：1.不同温度点对应不同气体流速，让温度段落和流量计系统形成对应关系。系统在加热过程中自动完成，无需手动操作2.液晶显示触屏，带压力控制，可以控制整个系统的设置和运行，可以控制真空泵真空度大小和抽速，所有管件材质316不锈钢。对于气体质量流量控制器，要求满足以下参数：① 、 流量控制范围：0~50sccm，0~200sccm，0~200sccm , 0~500sccm 0％~100％F.S.②、通入气体：氩气、氢气、甲烷等③、控制精度：≤±1％F.S.，≤±0.4％F.S.（≤30％F.S.）④、重复精度：≤±0.2％F.S.⑤、线性精度：≤±0.5％F.S.⑥、响应速度：≤1s三、真空部分1.智能压力控制系统：触摸屏可以设置正压或者真空，系统能自动维持腔体内部压力值2.包含有真空泵，真空计，手动阀，单向阀，波纹管，排气管，开关阀，针阀等配件。对于系统的具体要求如下：1、 最大真空度：≤0.5Pa 4.4L/S2、 极限真空:10-1Pa3、 双层立式油雾过滤器（PE材质）与真空泵连接4、 可以独立控制系统的抽气速率5、 可以独立显示管道内真空度 | 35000.0 | 单项低价原则 |
| 武汉畅天达科技有限公司 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | 1 | 贝意克 | BTF-1200C-PECVD | 按行业标准提供服务 | 一、 加热炉1.系统配置有WiFi模块，可以连接手机，进行数据采集，存储为电子表格模式，方便生成表格资料，供实验报告使用2.系统可以预设30条加热曲线，方便不同的材料做实验，带预热炉预热功能3.极限温度1200℃，单温区，恒温区200mm，程序控温，控温精度±5度，带数控导轨，另外需要增加预热器一台，对于前置小加热器，有以下要求：1、 适用管径：25mm2、 可控升温速率范围：≤60℃/min3、 带有温度控制器温度显示组件二、射频电源1.信号频率 13.56 MHz±0.005％，功率输出范围 5W-500W，最大反射功率 200W2.射频输出接口 50 Ω, N-type, female，功率稳定度 ±0.1％，谐波分量 ≤-50dbc3.供电电压 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ，整机效率 ＞=70％，功率因素 ＞=90％4.冷却方式 强制风冷三、气路流量柜：*1.不同温度点对应不同气体流速，让温度段落和流量计系统形成对应关系。系统在加热过程中自动完成，无需手动操作2.液晶显示触屏，带压力控制，可以控制整个系统的设置和运行，可以控制真空泵真空度大小和抽速，所有管件材质316不锈钢。对于气体质量流量控制器，要求满足以下参数：① 、 流量控制范围：0~50sccm，0~200sccm，0~200sccm , 0~500sccm 0％~100％F.S.②、通入气体：氩气、氢气、甲烷等③、控制精度：≤±1％F.S.，≤±0.4％F.S.（≤30％F.S.）④、重复精度：≤±0.2％F.S.⑤、线性精度：≤±0.5％F.S.⑥、响应速度：≤1s四、真空部分1.智能压力控制系统：触摸屏可以设置正压或者真空，系统能自动维持腔体内部压力值2.包含有真空泵，进口真空计，手动阀，单向阀，波纹管，排气管，开关阀，针阀等配件。对于系统的具体要求如下：1、 最大真空度：≤0.5Pa 4.4L/S2、 极限真空:10-1Pa3、 双层立式油雾过滤器（PE材质）与真空泵连接4、 可以独立控制系统的抽气速率5、 可以独立显示管道内真空度 | 85000.0 | 单项低价原则 |
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