小型脉冲激光沉积系统采购结果公告
小型脉冲激光沉积系统采购结果公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 小型脉冲激光沉积系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 通用设备 |
| 使用币种： | 美元 |
| 竞价开始时间： | 2018-11-14 11:42 |
| 竞价结束时间： | 2018-11-17 12:00竞价已结束 |
| 申购备注： | 1、须提供报价单包含配置、设备品牌型号、生产商、产地和原厂授权书. 2、供应商需在西安注册,提供营业执照，在西安当地具有完善的售后服务机构和人员。3、货到一周内派遣工程师进行现场开箱、安装调试及培训工作，直至用户熟练操作使用。4、质保期一年。 |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 西安德冠光电科技有限公司 | 小型脉冲激光沉积系统 | 1 | TSST | TSST-HEATER | 按行业标准提供服务 | 配置包含：1，真空腔体，2，加热台(TSST 荷兰制造)，3，靶台（TSST 荷兰制造），4，电控系统（TSST 荷兰制造），5，气路系统，6，自由光路系统技术要求：（一） 真空腔体1. 腔体材料采用优质304不锈钢，全金属密封连接（快开门除外），腔体直径至少12英寸。配有快开门，用于装卸样品，快开门上需带观察窗；2. 真空系统采用抽速至少为600L/s分子泵，分子泵配有控制电源，配有前级油泵，本底极限真空度优于5×10-5Pa（烘烤后）；3. 主腔体配备一高一低2个真空计，分别测量高真空（离子规），以及低真空（电阻规），配有双通道真空显示单元；（二） 加热台(TSST 荷兰制造)1. 最高加热温度900°C，温度稳定性?1°C，加热面积1英寸，加热均匀性优于3％；2. 配备1维样品架，样品可在Z方向移动，Z方向行程为50 mm；★3. 加热器为可插拔式，整个加热器（连同加热丝）可以通过快开门进行装卸；4. 衬底需配有挡板。（三） 靶台（TSST 荷兰制造）1. 能够同时安装4个1英寸的靶，每个靶可以单独更换；2. 靶台可以公转（用于选靶）和自转（提高激光烧蚀靶材的均匀性，提高利用率），转动全部可由软件控制。★3. 整个靶材台可以在公转方向上摆动扫描，使激光可以扫过整个靶表面，提高利用率。（四） 气路系统1. 能够提供1路工作气体（可通氧气等）和1路放气用的氮气气路；2. 气路安装1个质量流量计（MFC），配有电源（带显示功能）；★3. 主腔体与分子泵间配有旁抽气路，带角阀，配合流量计可精确控制工艺气压，压力可控范围为1~100Pa，控制精度为1Pa。（五） 电控系统（TSST 荷兰制造）1. 集成加热台、靶台、分子泵、真空计等控制器，以及总控电源；2. 配有控制软件，要求能够控制样品加热，靶的自传、公转、扫描等；★4. 软件带有编程功能，可控制激光触发，可实现多层膜自动生长；5. 在硬件支持的前提下，免费提供软件升级。 （六）售后支持1. 可同TSST-18 连接使用2. 支持光路调整 | 70000.0 | 单项低价原则 |
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