南方科技大学-竞价结果详情(CB143252018000771)
南方科技大学-竞价结果详情(CB143252018000771)
基本信息: | |
申购单主题: | 高温超导沉积仪 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器仪表 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2018-11-12 13:36 |
竞价结束时间: | 2018-11-19 12:00 竞价已结束 |
申购备注: | 1.本单采购预算为19.80万元,超过预算金额的投标为无效投标。 2.质保期:一年。 3.付款方式:全部货物按照合同约定,设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的95%;余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。 4.送货时间:合同签订后30天内。 质保期、付款方式、送货时间为最低要求,不满足以上要求的视为无效投标。 5.本项目打包采购。投标人须为境内合法注册登记的法人,中标后不允许分包、转包。投标人必须按要求在报价说明一栏分别填写所投产品生产厂商(全称)和产地信息,如不提供,视为无效投标。 |
申购设备详情: |
中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
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中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 高温超导沉积仪 | 1 | 沈阳科仪(SKY) | PLD300 | 按行业标准提供服务质保期:1年 | 系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成;主要仪器参数如下:1.溅射真空室组件 1套 球型真空室尺寸Ф300mm,选用优质不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面进行特殊工艺抛光处理,接口采用金属垫圈密封或进口氟橡胶圈密封; 1.1、RF150法兰接口:1个(或开门组件); 1.2、CF150法兰接口:2个(基片样品台组件、靶组件); 1.3、CF63法兰接口:1个(激光入射窗口、备用) 1.4、CF16法兰接口:4个(进气管路、充气阀、备用、低真空) 1.5、CF150法兰接口:1个(分子泵); 1.6、CF50法兰接口:1个(备用); 1.7、CF35法兰接口:3个(电离规管、照明、离子源); 1.8、CF35法兰接口:1个(旁抽); 2、旋转靶台组件 1套 2.1、每次可以装4块靶材,靶材尺寸:Φ1"; 2.2、每块靶材可实现自转,转速5~60转/分,连续可调,由电机驱动磁力耦合机构控制; 2.3、靶位公转换位机构,由电机驱动磁耦合机构控制; 2.4、靶材屏蔽罩将3块靶材屏蔽,每次只有一个靶材露出溅射成膜,以避免靶材之间的交叉污染; 3、抗氧化基片加热台组件 1套 3.1、基片尺寸:可放置φ1″基片; 3.2、基片加热最高温度 800℃±1℃,由热电偶闭环反馈控制,采用抗氧化材料作加热器; 3.3、基片可连续回转,转速5~60转/分,电机驱动磁耦合机构控制; 3.4、基片与旋转靶台之间距离30~90mm可调,由腔外手动波纹管调节机构控制; 3.5、手动控制样品挡板组件:1套; 3.6、样品托:2个; 4、窗口及法兰接口部件 1套 4.1、RF150两用活开门:1套(其上有铰链、锁紧件、φ100观察窗); 4.2、CF63石英玻璃窗口:1块(可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃,供激光入射使用); 4.3、CF35陶瓷封接引线法兰:1个(照明及内烘烤引线); 4.5、CF16盲法兰:各1个;CF35、CF50、CF63盲法兰:1个。 4.6、室内进气法兰CF接管D6:1套(其上有CF16双面法兰、铜管、D6卡套、瓷管等) 5、工作气路 2路 5.1、100SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等:2路(汇博隆) 5.2、充气阀CF16、管路、接头等:1路(解除真空充氮气); 6、抽气机组及阀门、管道 1套 6.1、软联接金属软管:1套 ; 6.2、旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀CF35:1套 ; 6.3、CF150-B手动闸板阀:1台(用于真空室隔离); 7、安装机台架组件 1套 优质方钢型材焊接成,快卸围板表面喷塑处理;机台表面用不锈钢蒙皮装饰;四只脚轮,可固定,可移动; 8、真空测量及电控系统 1套 8.1、电源机柜:1台(含总控电源,有断电保护功能); 8.2、控制电源:1台(为机械泵、电磁阀等提供电源); 8.3、样品加热控温电源:1套(可实现程序控温); 8.4、电机旋转电源:3套; 8.5、加热烘烤及照明电源:1套; 8.6、宽量程数显真空计(成都):1套;测量范围:1.0x105Pa~1.0x10-8Pa。 8.7、质量流量显示器:1套; 9、备件 1套 9.1、无氧铜密封垫圈及管路:CF16:3个;CF35:5个;CF150:2个;¢6mm卡套:4套;¢6mm不锈钢管:6m | 175000.0 | 单项低价原则 |
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