暨南大学-竞价结果详情(CB105592018004463)
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基本信息: | |
申购单主题: | 磁控溅射镀膜系统 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 物理光电实验设备 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2018-11-19 10:47 |
竞价结束时间: | 2018-11-22 10:55 竞价已结束 |
申购备注: | |
申购设备详情: |
中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
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合肥贝泰科学仪器有限公司 | 磁控溅射镀膜系统 | 1 | 贝泰仪器 | BT-CK-350II | 按行业标准提供服务 | BT-CK-350II方箱型超高真空磁控溅射镀膜系统:1. 两个溅射靶系统需采用进口 Kurt J. Lesker磁控溅射靶标准靶,采用倒置靶位结构(由下往上溅射到倒置样品上);2. 兼容直流与射频溅射方式,配备一台进口AE 500W直流电源和一台射频电源;3. 采用PLC加触摸屏及软件来实现溅射系统的操作控制、相关数据读取等操作;4. 整机通过水冷循环系统对设备进行冷却循环降温,配备水冷机一台;5. 样品盘加热可通过加热电源控制最高不超过≤600℃的加热烘烤控制,并可利用直流电源拓展升级对样品进行镀膜前的样品等离子体清洗功能;6. 真空腔体内的压力可通过Inficon薄膜规及控制系统和截流阀可实现对真空室内的压力进行调压和恒压控制;7.溅射腔体采用优质304不锈钢。真空泵组采用D30C德国莱宝机械泵和KYKY分子泵;8. 真空室内样品架可旋转可升降可加热,基片自转、样品架升降、单轴磁流体密封含磁流体密封装置与步进电机及控制器控制转速。 | 190000.0 | 单项低价原则 |
标签: 大学
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