12吋晶圆金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统等评标结果公示0613-184025134107(1)
12吋晶圆金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统等评标结果公示0613-184025134107(1)
项目名称：12吋晶圆金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统等
招标项目编号：****-********4107
招标范围：12吋晶圆金属介电层的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统、浅沟槽隔离的二氧化硅薄膜沉积之高密度电浆系统、氮化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统、二氧化硅薄膜沉积之半大气压化学沉积系统、钨金属栓塞之化学气相沉积系统、铝金属之物理气相沉积系统、钛金属与氮化钛之物理气相沉积系统、钛与氮化钛之金属粘着层的物理气相沉积系统
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：合肥晶合集成电路有限公司
开标时间：2018-11-29 10:00
公示开始时间：2018-11-29 14:24
评标公示截止时间：2018-12-04 23:59
中标候选人名单：
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | Applied？Materials？South？East？Asia？Pte.？Ltd. | Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. | 新加坡 |
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