大马士革氧化膜一体化刻蚀机、接触孔等离子体刻蚀机中标公告
招标编号/包号： ****-********0306/03
招标机构： 上海国际招标有限公司
业主： 上海华力微电子有限公司
开标时间： 2010-06-28
公示结果公告时间: 2010-07-14
公示结果公告状态: 无质疑
最终中标人: Tokyo Electron Limited
制造商： Tokyo Electron Limited
制造商国家及地区： 日本
项目名称:大马士革氧化膜一体化刻蚀机和接触孔等离子体刻蚀机
项目编号:****-********0306/03
采购大马士革氧化膜一体化刻蚀机（MHM AIO etcher）1台和接触孔等离子体刻蚀机(CT etcher)1台
业主:上海华力微电子有限公司
开标时间:2010-06-28 14:00:00.0
评标结果公示状态:无质疑
推荐中标商:Tokyo Electron Limited
制造商:Tokyo Electron Limited
制造商国家及地区:日本