KrF涂胶涂胶显影机等中标公告
招标编号/包号： ****-********0855/03
招标机构： 上海机电设备招标公司
业主： 上海华力微电子有限公司
开标时间： 2010-07-06
公示结果公告时间: 2010-07-16
公示结果公告状态: 无质疑
最终中标人: Tokyo Electron Limited
制造商： Tokyo Electron Limited
制造商国家及地区： 日本
项目名称:上海华力微电子有限公司涂胶显影机系统
项目编号:****-********0855/03
包件1（2台）： 1. ArF液浸式涂胶涂胶显影机（High throughput or Low throughput） 2. ArF干式涂胶涂胶显影机（High throughput or Low throughput） 包件2（Max 4台）：1. KrF涂胶涂胶显影机（High throughput or Low throughput） 2. I-line涂胶涂胶显影机 包件3（4台）：1. BARC涂胶机（FEOL） 2. BARC涂胶机（BEOL） 3. 聚酰亚胺涂胶机 4. 聚酰亚胺涂胶显影机
业主:上海华力微电子有限公司
开标时间:2010-07-06 10:00:00.0
评标结果公示状态:无质疑
推荐中标商:Tokyo Electron Limited
制造商:Tokyo Electron Limited
制造商国家及地区:日本