12吋晶圆氮化钛金属硬掩膜之物理气相沉积系统等 中标结果公告(1)0613-194025130036
12吋晶圆氮化钛金属硬掩膜之物理气相沉积系统等 中标结果公告(1)0613-194025130036
项目名称：12吋晶圆氮化钛金属硬掩膜之物理气相沉积系统等
项目编号：****-********0036
招标范围：氮化钛金属硬掩膜之物理气相沉积系统、钽金属与铜金属之物理气相沉积系统、铝金属钽金属与氮化钛金属之物理气相沉积系统、碳氧化硅薄膜沉积之电浆增强化学沉积系统
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：合肥晶合集成电路有限公司
开标时间：2019-02-02 10:00
公示时间：2019-02-02 14:14 - 2019-02-12 23:59
中标结果公告时间：2019-02-14 15:49
中标人：Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.
制造商：Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.
制造商国家或地区：新加坡
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