实验型等离子系统中标结果
实验型等离子系统中标结果
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 实验型等离子系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 航空航天工业专用设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2019-03-26 17:51 |
| 竞价结束时间： | 2019-04-02 12:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | 预计挂网天数为:3天; |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 品牌 | 型号 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 珠海宝丰堂电子科技有限公司 | 实验型等离子系统 | 1 | 宝丰堂 | Experiment—ICP | 设备保固期：由装机完成后12个月或货到后13个月，以先期为准。 | 1. 视窗玻璃最小直径； 300mm2. 台面高度， 宽度， 深度； 高度： 1000mm， 宽度： 1500mm， 深度 1000mm3. 石英腔体下部开孔尺寸； 500mm4. 石英腔体距离下部平台高度； 400mm5. 具备朗缪尔探针法兰孔，内径 45mm 的法兰孔6. 石英腔体最小外直径， 最小内直径， 最小长度， 最小观测长度等； 最小内直径： 500mm， 最小观测长度 400mm。7. 具备偏压牵引法兰孔；8. PLC+触摸屏控制9. 提供 10 步序等离子参数设定（ 包括： RF 功率、 等离子时间、 气体流量、 真空度）10. 等离子产生方式为 ICP 电感耦合式等离子； 11. 等离子体电源（ RF） 频率为 13.56Mhz； 12. 配备两种气体通道， 使用质量流量控制器控制（ MFC） ； （ O2： 量程 0~200ml、 Ar：量程 0~200ml） ； 13. 配备真空泵以及相应电感线圈冷却系统； 14. 使用 380Vac 三相五线制供电； 使用 380Vac 三相五线制供电 | 198000.0 |
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