上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院的委托，就“张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发薄膜应力测量仪采购项目重新招标国际竞争性招标”项目（项目编号：********）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：

一、项目信息

项目编号：********

项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发薄膜应力测量仪采购项目重新招标国际竞争性招标

项目联系人：赵丽莉

联系方式：86-21-********×135

二、采购单位信息

采购单位名称：中国科学院上海高等研究院

采购单位地址：上海市浦东新区海科路99号

采购单位联系方式：陈洁、***-********

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

项目用途、简要技术要求：

承片台尺寸：200毫米晶圆
扫描范围：194毫米（3毫米晶圆边缘无效区）
扫描方式：高精度单线及可编程多线扫描，二维及三维扫描，马达旋转承片台。
应力测量范围：1MPa 至 4GPa (1 x 107 至 4 x 1010 dynes/cm2)
翘曲度测量范围：1微米至4毫米
最小曲率半径：2.4米
最小曲率半径：>10千米
合同履行日期：合同生效后一个月内（不晚于2019年6月15日）

四、采购代理机构信息

采购代理机构全称：上海国际招标有限公司

采购代理机构地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼

采购代理机构联系方式：赵丽莉86-21-********×135

五、中标信息

招标公告日期：2019年04月09日

中标日期：2019年05月07日

总中标金额：60.0376 万元（人民币）

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

本项目招标代理费总金额：1.0 万元（人民币）

本项目招标代理费收费标准：

根据合同约定，单个项目低于1万元按1万元收取。

评审专家名单：

葛福弟、张贵荣、李根国、周翔、李斌

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

中标标的名称：薄膜应力测量仪；规格型号：FSM128NT；数量：1台/套；单价：USD89,000.00；
服务要求：提供以上1台/套设备的供货以及安装、调试、售后服务、质保等伴随服务。

六、其它补充事宜

本项目为国际竞争性招标，本公告同步发布在中国国际招标招标网，如有不一致，以中国国际招标招标网的公告为准。