上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院的委托，就“张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发NE14单片晶圆清洗设备采购项目重新招标”项目（项目编号：********）组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：

一、项目信息

项目编号：********

项目名称：张江实验室（中国科学院上海高等研究院）硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发NE14单片晶圆清洗设备采购项目重新招标

项目联系人：赵丽莉

联系方式：***-*********135

二、采购单位信息

采购单位名称：中国科学院上海高等研究院

采购单位地址：chenjie@sari.ac.cn

采购单位联系方式：陈洁、********

三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

项目用途、简要技术要求：
清洗方式：单片，干进干出
清洗化学液：NE14
晶圆尺寸：200毫米
晶圆干燥方式：气化IPA+旋转或液态IPA+旋转
石英清洗兆声频率：0.83MHz
石英清洗兆声功率：125W
配有化学液回收系统；
清洗非均匀性：< 10%
批与批清洗速率变动：< 3%
交货期：签订合同后4个月

四、采购代理机构信息

采购代理机构全称：上海国际招标有限公司

采购代理机构地址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼

采购代理机构联系方式：赵丽莉、86-21-62791919×135

五、中标信息

招标公告日期：2019年04月18日

中标日期：2019年05月10日

总中标金额：683.0 万元（人民币）

中标供应商名称、联系地址及中标金额：

本项目招标代理费总金额：4.4 万元（人民币）

本项目招标代理费收费标准：

根据国家发改委货物类标准收费下浮40%收取。

评审专家名单：

戎蒙恬、周翔、曹丽华、李斌、唐兴达

中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

中标标的名称：NE14单片晶圆清洗设备；
规格型号：Velocity；数量：1台/套；单价：USD 1,020,000.00；
服务要求：提供以上1台/套设备的供货以及安装、调试、售后服务、质保等伴随服务。

六、其它补充事宜

本项目为国际竞争性招标，本公告同步发布在中国国际招标招标网，如有不一致，以中国国际招标招标网的公告为准。

中标价以美元价格为准。