南方科技大学-竞价结果详情(CB143252019000171)
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| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 等离子刻蚀机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2019-05-23 10:50 |
| 竞价结束时间： | 2019-05-28 11:00 竞价已结束 |
| 申购备注： | 1.本单采购预算为13.00万元，超过预算金额的投标为无效投标。 2.质保期：一年。 3.付款方式：合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30％作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试完毕后，经甲方验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65％；剩余5％的尾款作为质保金，在验收12个月后在未发现乙方有违反售后服务承诺或质量问题的前提下，由甲方全部无息支付给乙方。 4.送货时间：合同签订后60天内。 质保期、付款方式、送货时间为最低要求，不满足以上要求的视为无效投标。 5.投标人须为境内合法注册登记的法人，中标后不允许分包、转包。投标人必须按要求在报价说明一栏分别填写所投产品生产厂商（全称）和产地信息，如不提供，视为无效投标。6.接受进口设备投标。 |
| 申购设备详情： |
| 中标供应商 | 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 中标单价 | 报价说明 | 中标理由 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 武汉迈可诺科技有限公司 | 等离子刻蚀机 | 1 | RIE | Tergeo | 按行业标准提供服务 | 主要技术参数如下：1. 可编程控制，可编程20个程序，每个程序有至少3个清洁步骤；2.反应腔体：选用石英玻璃舱，腔体内径≥110毫米，深度≥278毫米，前方开口，5mm厚石英玻璃可视窗口，可观测内腔等离子状态，并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置，有效保护操作的安全性；3.射频电源：射频频率13.56MHz，功率在0-150W可调，能自动阻抗匹配，可以以脉冲方式工作，能够连续输出（脉冲比1/255-255/255可调）；4. 等离子源：可实时探测等离子源强度，外置电极，高压电极设计不和等离子接触以避免金属溅射造成样品污染；5. 气路控制：2路MFC控制气路，可精确控制留在在0-100sccm；一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体；要求真空最低抽速：1cfm，压力要求200mTorr或者更低 ；高性能气压计可以测量1e-4Torr到大气压之间气压 | 125400.0 | 单项低价原则 |
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