2英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底R级中标结果
2英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底R级中标结果
申购单类型 | 竞价类 | 申购主题 | 2英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底R级 | ||||
发布中标时间: | 2019-07-02 17:24 | 经费科目 | 2.科研专款或基金(纵向) | 使用币种 | 人民币 | 是否含税 | 否 |
申购备注 | 1、不限本地供应商2、申购人:刘静月 |
中标供应商 | 设备名称 | 品牌厂商 | 型号 | 规格配置 | 是否标配 | 申购数量 | 中标单价 | 售后服务 | 差异描述 | 中标理由 | |||||
山东天岳先进材料科技有限公司 | 2英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级 | 不限 | 不限 | 直径:50.8 mm ± 0.38 mm表面取向:{0001} ± 0.2°主参考面取向:<11-20> ± 5.0?副参考面取向:顺时针与主参考面成90? ± 5.0?, Si面朝上主参考面长度:16.0 mm ± 1.65 mm副参考面长度:8.0 mm ± 1.65 mm晶片边缘:倒角微管密度:≤5 个/cm2多型(强光灯观测):不允许电阻率:≥1E7 Ω·cm厚度:350.0 μm ± 25.0 μm总厚度变化:≤10 μm弯曲度(绝对值):≤10 μm翘曲度:≤25 μm表面处理:C-面: 光学抛光, Si-面: 化学机械抛光(CMP)表面粗糙度:CMP Si-面 Ra≤0.5 nm裂纹(强光灯观测):不允许崩边/缺口(漫反射光观测):不允许有效面积:≥90% | 是 | 20 | 4,000.0 | 质保期一年 | 单项低价原则 | ||||||
山东天岳先进材料科技有限公司 | 4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级 | 不限 | 不限 | 直径:100.0mm+0.0/-0.5mm微管密度:≤1/cm2多型:不允许电阻率:≥1E7Ω·cm总厚度变化:≤10μm弯曲度(绝对值):≤25μm翘曲度:≤45μm表面粗糙度:≤0.2nm表面取向:{0001}±0.2°主参考面取向:<11-20>±5.0°副参考面取向:顺时针与主参考面成90°±5.0°,Si面朝上主参考面长度:32.5mm±2.0mm副参考面长度:18.0mm±2.0mm厚度:500μm±25μm表面处理:C-面: 光学抛光, Si-面: 化学机械抛光(CMP)裂纹(强光灯观测):不允许崩边/缺口(漫反射光观测):不允许 | 是 | 5 | 13,500.0 | 质保期一年 | 单项低价原则 | ||||||
山东天岳先进材料科技有限公司 | 4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底R级 | 不限 | 不限 | 直径:100.0mm+0.0/-0.5mm微管密度:≤5/cm2多型:不允许电阻率:≥1E7Ω·cm总厚度变化:≤10μm弯曲度(绝对值):≤25μm翘曲度:≤45μm表面粗糙度:≤0.2nm表面取向:{0001}±0.2°主参考面取向:<11-20>±5.0°副参考面取向:顺时针与主参考面成90°±5.0°,Si面朝上主参考面长度:32.5mm±2.0mm副参考面长度:18.0mm±2.0mm厚度:500μm±25μm表面处理:C-面: 光学抛光, Si-面: 化学机械抛光(CMP)裂纹(强光灯观测):不允许崩边/缺口(漫反射光观测):≤2个,且每个长度宽度均<1mm | 是 | 5 | 9,000.0 | 质保期一年 | 单项低价原则 |
标签: 绝缘
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