2英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底R级中标结果

2英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底R级中标结果


竞价结果详细 (CB***************)----西安交通大学
申购单类型竞价类申购主题2英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级,4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底R级
发布中标时间:2019-07-02 17:24经费科目2.科研专款或基金(纵向)使用币种人民币是否含税
申购备注1、不限本地供应商2、申购人:刘静月
中标供应商设备名称品牌厂商型号规格配置是否标配申购数量中标单价售后服务差异描述中标理由
山东天岳先进材料科技有限公司2英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级不限不限直径:50.8 mm ± 0.38 mm表面取向:{0001} ± 0.2°主参考面取向:<11-20> ± 5.0?副参考面取向:顺时针与主参考面成90? ± 5.0?, Si面朝上主参考面长度:16.0 mm ± 1.65 mm副参考面长度:8.0 mm ± 1.65 mm晶片边缘:倒角微管密度:≤5 个/cm2多型(强光灯观测):不允许电阻率:≥1E7 Ω·cm厚度:350.0 μm ± 25.0 μm总厚度变化:≤10 μm弯曲度(绝对值):≤10 μm翘曲度:≤25 μm表面处理:C-面: 光学抛光, Si-面: 化学机械抛光(CMP)表面粗糙度:CMP Si-面 Ra≤0.5 nm裂纹(强光灯观测):不允许崩边/缺口(漫反射光观测):不允许有效面积:≥90%204,000.0质保期一年单项低价原则
山东天岳先进材料科技有限公司4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底P级不限不限直径:100.0mm+0.0/-0.5mm微管密度:≤1/cm2多型:不允许电阻率:≥1E7Ω·cm总厚度变化:≤10μm弯曲度(绝对值):≤25μm翘曲度:≤45μm表面粗糙度:≤0.2nm表面取向:{0001}±0.2°主参考面取向:<11-20>±5.0°副参考面取向:顺时针与主参考面成90°±5.0°,Si面朝上主参考面长度:32.5mm±2.0mm副参考面长度:18.0mm±2.0mm厚度:500μm±25μm表面处理:C-面: 光学抛光, Si-面: 化学机械抛光(CMP)裂纹(强光灯观测):不允许崩边/缺口(漫反射光观测):不允许513,500.0质保期一年单项低价原则
山东天岳先进材料科技有限公司4英寸高纯半绝缘4H-SiC衬底R级不限不限直径:100.0mm+0.0/-0.5mm微管密度:≤5/cm2多型:不允许电阻率:≥1E7Ω·cm总厚度变化:≤10μm弯曲度(绝对值):≤25μm翘曲度:≤45μm表面粗糙度:≤0.2nm表面取向:{0001}±0.2°主参考面取向:<11-20>±5.0°副参考面取向:顺时针与主参考面成90°±5.0°,Si面朝上主参考面长度:32.5mm±2.0mm副参考面长度:18.0mm±2.0mm厚度:500μm±25μm表面处理:C-面: 光学抛光, Si-面: 化学机械抛光(CMP)裂纹(强光灯观测):不允许崩边/缺口(漫反射光观测):≤2个,且每个长度宽度均<1mm59,000.0质保期一年单项低价原则



联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 绝缘

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