重庆邮电大学超短强激光微纳制造科研平台-磁控溅射镀膜仪中标结果

重庆邮电大学超短强激光微纳制造科研平台-磁控溅射镀膜仪中标结果



公告概要:
公告信息:
采购项目名称
品目

货物

采购单位重庆邮电大学
行政区域重庆市公告时间2019年07月15日15:15
本项目招标公告日期2019年07月01日中标日期2019年07月01日
评审专家名单
总中标金额¥0.000000 万元(人民币)
联系人及联系方式:
项目联系人
项目联系电话
采购单位重庆邮电大学
采购单位地址
采购单位联系方式
代理机构名称重庆邮电大学
代理机构地址重庆市 南岸区 重庆市南岸区崇文路2号
代理机构联系方式133*****457

重庆邮电大学超短强激光微纳制造科研平台-磁控溅射镀膜仪结果公告
(询价编号:173*****84863745)
按照网上询价成交原则,现将采购结果公示如下:
包1预算合计:¥280,000.00元

教学专用仪器
配置要求:高真空镀膜仪德国徕卡ACE 600主要功能:通过金属溅射方式,可对样品表面进行均匀的金属镀膜,实现非导电样品的导电处理,适宜于SEM观察;通过碳丝蒸发镀膜,可对样品表面进行蒸镀均匀的碳膜,实现非导电样品的导电处理,适宜于SEM观察及能谱/波谱分析,或者为铜网表面覆碳支持膜。主要参数:1.操作参数:1.1 溅射电流:0-150mA,可调。1.2 溅射时间:1-1800秒,可调1.3 镀膜终止:可按时间终止;也可根据设定膜厚镀膜过程。1.4工作时气压:Ar, 约1×10-2mbar,工作前真空度需达到5×10-5mbar1.5 工作气体:高纯氩气2. 控制系统2.1 控制器:内置式触摸屏控制面板,2.2 镀膜过程控制:自动镀膜3. 镀膜仪功能3.1 镀膜靶源采用倾角式设计,配置旋转样品台,可使镀膜最均匀。3.2 金属溅射镀膜靶材:金/银/铂金/钨/铜/镍/钛/铝各1块,硅1盒(10片):金/银/钨/铜/镍/钛/铝各1块为德国徕卡产品,铂金和硅1盒(10片)为国产。 3.3 带有石英膜厚监控器,可根据设定膜厚自动终止镀膜,实现镀膜厚度的精确控制。控制精度0.1nm,范围0-1000nm。3.4 带有氩气灌洗功能,以去除管路中残留气体,保证样品室内无污染3.5 带有预溅射功能,金属靶带有挡板保护4. 样品室4.1 样品室内径:不小于宽200 × 深150 × 高180 mm4.2 工作距离:30-100mm4.3 工作台控制:马达驱动旋转样品台,4.4工作台:标准工作台:104mm,可插入25个SEM样品座5. 真空系统5.1全无油真空系统:隔膜泵×1+分子泵×15.2 最优真空度:≤2x10-6mbar6 系统维护与清洁:样品室舱门、样品室内壁金属保护罩、镀膜挡板、靶材、样品台都可简易拆卸,清洁。
成交商品品牌:德国徕卡
成交商品型号:ACE600
采购人预算(单价):¥280,000.00
数量:1(件)小计(元):¥280,000.00

报价供应商数量:3

采购结果:成交

成交供应商:四川宏胜杰机电设备有限公司

报价时间:2019-07-15 10:03:44

成交金额:¥279,700.00


成交结果说明:
备注:推荐供应商排名,排序优先级为:供应商报价金额更低>报价时间更早
排名供应商名称是否成交成交/未成交理由
1四川宏胜杰机电设备有限公司成交报价最低

采购执行方:重庆邮电大学


联系人:袁作友


联系电话: 139*****897


标签: 磁控溅射镀膜 制造 激光

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业主

重庆邮电大学

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