项目名称

MEMS射频滤波芯片生产线建设项目

建设地点

南昌高新区天祥北大道600号南昌高新微电子科技园厂房内

建设单位

南昌诺思微系统有限公司

环评机构

南昌市环境科学研究院有限公司

建设项目概况

项目位于江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道600号，租赁南昌高新微电子科技园厂房，占地面积38992m2，总建筑面积47759m2，设置生产研发厂房、综合动力、化学品库、硅烷站（本项目不利用）、大宗气体站、氢氦站、废水处理站等，属新建性质。年产11亿颗MEMS射频滤波芯片，其中RSFP1701系列7亿颗，RSFP2402系列2.4亿颗，RSFP2302系列1.6亿颗。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

（一）废水污染防治

营运期的含氟废水、废气洗涤塔废水、POU淋洗废水经CaCl2絮凝沉淀预处理，含氨废水、有机废水经两级AO+MBR预处理，含铜废水经化学沉淀预处理，研磨废水经混凝沉淀预处理，预处理后的废水再与酸碱废水经酸碱中和处理；生活污水经化粪池处理，外排废水中CODcr、BOD5、SS、NH3-N达到瑶湖污水处理厂接管标准要求，氟化物、磷酸盐、总铜满足《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中表4一级标准要求，由市政污水管网排入瑶湖污水处理厂处理，尾水入赣江南支。

（二）废气污染防治

营运期酸性废气来源于清洗、湿法蚀刻、去胶工序，主要污染物为氟化物、硫酸雾、HCl、磷酸雾等，由密闭集气系统收集后进入酸性废气洗涤塔处理；工艺尾气来源于掺杂、化学气相淀积、干法蚀刻工序，主要污染物为磷化氢、氯化氢、BCl3、N2O（以氮氧化物计）、CF3、CF4、SF6、硅烷、SiCl4、氯气、二氧化硫（BCl3以硼及其化合物计、SiCl4以氯化氢计，CF3、CF4、SF6、SiF4以氟化物计），经水洗+催化氧化处理后，再接入酸性废气洗涤塔处理；处理后的酸性废气和工艺尾气由一根30米高排气筒（1#）排放，氟化物、硫酸雾、氯化氢、氯气、氮氧化物、二氧化硫的排放浓度和排放速率均能满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中二级标准限值要求，磷酸雾、磷化氢排放浓度和排放速率均能满足《上海市地方标准 大气污染物综合排放标准》（DB 31/933-2015）表1限值要求，硅烷的排放浓度和排放速率均能满足《荷兰排放导则NER》中排放限值要求。

有机废气来源于清洗、去胶、光刻（涂胶、前烘、后烘）工序，主要污染物为VOC，经密闭集气系统收集后进入沸石转轮+TO炉焚烧系统处理；TO炉焚烧废气主要污染物为烟尘、二氧化硫、氮氧化物，与处理后的有机废气由一根30米高排气筒（3#）排放，VOC的排放浓度及排放速率均能满足天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB 12/524-2014）表2中电子工业半导体制造行业限值要求，烟尘、二氧化硫、氮氧化物排放浓度、排放速率均能满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB 13271-2014）表2燃气锅炉标准限值。

天然气锅炉废气主要污染物为烟尘、SO2、NOx，由30米高排气筒（4#）排放，烟尘、SO2、NOx排放浓度、排放速率均能满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB 13271-2014）表2燃气锅炉标准限值。

碱性废气来源于碱洗清洗工序，主要污染物为氨，由密闭集气系统收集后进入碱性废气洗涤塔处理，处理后废气由30米高排气筒（2#）排放；污水站恶臭主要污染物为氨、硫化氢，将生化池、污泥池密闭加盖收集至洗涤塔处理，处理后废气由30米高排气筒（5#）排放；未被收集的污水站恶臭以无组织形式排放，氨、硫化氢的排放速率为8.0×10-3kg/h、8.0×10-4kg/h；氨、硫化氢的厂界浓度能满足《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-63）表1中限值要求，两个排气筒氨、硫化氢的排放速率能满足《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-63）表2中限值要求；经环评预测，项目污水站需设置100米卫生防护距离，测绘报告显示，项目防护距离范围内无环境敏感点。

（三）噪声污染防治

选用低噪声的机械设备，合理布置设备，采取减震、消声、隔声、吸音等措施，减少噪声对周边环境的影响。厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。

（四）固体废物污染防治

废抛光垫委托外运填埋，更换的腔体护壁委托专业单位清洗回收，不合格品委托专业单位回收处理，废包装材料外卖综合利用；危险废物暂存于危险废物暂存库，交有资质单位处理；生活垃圾交环卫部门处理。危废暂存库按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）（2013年修订）要求建设。

（五）地下水污染防治

项目对生产研发厂房、化学品库、废水处理站等采取重点防渗，对综合动力站采取一般防渗，对大宗气体站、住门卫、硅烷站、门卫采取简单防渗；污水处理站下游设置1个动态监测井等措施减轻对地下水的影响。