“大连理工大学ALD原子层沉积系统”项目（项目编号：DUTASD-F*******） 组织评标工作已经结束，现将评标结果公示如下：

一、项目信息

项目编号：DUTASD-F*******

项目名称：大连理工大学ALD原子层沉积系统

项目联系人：李蕾

联系方式：0411- ********

二、采购单位信息

采购单位名称：大连理工大学

采购单位地址：大连理工大学国际会议中心（科技园大厦C座）409室

采购单位联系方式：李蕾lilei@dlut.edu.cn

三、成交信息

招标文件编号：DUTASD-*******

本项目招标公告日期：2019年09月16日

成交日期：2019年09月18日

总成交金额：120.0 万元（人民币）

成交供应商名称、地址及成交金额：

本项目代理费总金额：0.0 万元（人民币）

本项目代理费收费标准：

0

谈判小组、询价小组成员名单及单一来源采购人员名单：

高岩、李斐、刘进轩

四、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

大连理工大学化工与环境生命学部精细化工国家重点实验室，化学工程与技术学科公共平台建设，主要研究金属氧化物和金属氮化物在不同样片上的三维薄膜生长情况，研究其阶梯覆盖率、薄膜生长的均匀性、以及可以到光学级别的表面粗糙度。通过原子层级别的薄膜生长，在材料、半导体、生物、航空、电子、MEMS等行业的广泛应用具有重要理论意义和实际应用基础。本项目能够提供不均匀小于1A的光学级别的高品质薄膜。

基于该项目研究内容，本项目拟采购的原子层沉积系统要求能够提供优于+/-0.35%左右的超高均匀性，以及接近于100%的阶梯覆盖率，并可以实现大于100:1的大深宽比的深孔沉积，可以真正意义上控制原子层级别的厚度生长，并且可以预留后期以较低成本升级到PEALD的应用。

五、成交标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

ALD原子层沉积系统 NMC Q_NLD-3000 1台

六、其它补充事宜