研究院原子层沉积系统 中标结果
研究院原子层沉积系统 中标结果
一、 采购人名称：浙江大学衢州研究院
二、 供应商名称：江苏迈纳德微纳技术有限公司
三、 采购项目名称：原子层沉积系统
四、 采购项目编号：QSZB-Z(H)-A19131(CS)
五、 合同编号：2019-42961
六、 合同内容：
| 标项序号 | 标项名称 | 规格型号 | 单位 | 数量 | 单价(元) | 合同总额(元) | 预算金额(元) |
| 1 | 原子层沉积系统 | 可以利用原子层沉积技术确保沉积参数的高度可控性（厚度，成份和结构），制备沉积均匀、一致性高的微纳有机催化材料。 另外在某些实验过程中，需要在具有大长径比的内腔表面镀膜，极限的情况下长径比会达到15甚至20，采用传统的镀膜方法是无法实现的，而原子层沉积技术由于是通过在基底表面形成吸附层，进一步通过反应生成薄膜，因而在这方面具有独特的优势，可以在大长径比的内腔表面形成厚度均匀的薄膜。 1.可以通过控制反应周期数精确控制薄膜的厚度，从而达到原子层厚度精度的薄膜；由于前驱体是饱和化学吸附，可保证生成大面积均匀性的薄膜； 2.可生成极好的三维保形性化学计量薄膜，作为台阶覆盖和纳米孔材料的涂层； 3.可以沉积多组份纳米薄层和混合氧化物； 4.薄膜生长可在低温下进行（室温到400摄氏度以下）； 可广泛适用于各种形状的衬底。 | 台 | 1 | 548000.00 | 562000 |
付款方式、售后服务、违约责任详见合同附件。
服务要求或标的基本概况：/
七、 其它事项：
无
八、 联系方式
1、采购代理机构名称：浙江求是招标代理有限公司
联系人：陈宵
联系电话：****-********
地址：杭州市西湖区玉古路173号中田大厦16楼
2、采购人名称：浙江大学衢州研究院
联系人：杨老师
联系电话：178*****005
传真：/
地址：衢州市九华北大道78号
3、同级政府采购监督管理部门名称：衢州市财政局
联系人：琚先生
监督投诉电话：****-*******
传真：****-*******
地址：衢州市三江东路28号
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