福建省政府采购合同

编制说明

1、签订合同应遵守《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国合同法》。

2、签订合同时，采购人与中标人应结合招标文件第五章规定填列相应内容。招标文件第五章已有规定的，双方均不得对规定进行变更或调整；招标文件第五章未作规定的，双方可通过友好协商进行约定。

甲方：厦门理工学院

乙方：厦门航空开发股份有限公司

根据招标编号为[350200]FX[GK]*******的原子层薄膜沉积仪项目（以下简称：“本项目”）的招标结果，乙方为中标人。现经甲乙双方友好协商，就以下事项达成一致并签订本合同：

1、下列合同文件是构成本合同不可分割的部分：

1.1合同条款；

1.2招标文件、乙方的投标文件；

1.3其他文件或材料：无。

2、合同标的

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3、合同总金额

3.1合同总金额为人民币大写：壹佰叁拾陆万元整（￥*******.0000）。

4、合同标的交付时间、地点和条件

4.1交付时间：自合同签订之日起180天货到、安装调试完毕，并通过验收交付使用。；

4.2交付地点：厦门市集美区理工路600号精工园2#楼采购人指定地点。；

4.3交付条件：所有产品安装、调试完成，并交付使用。。

5、合同标的应符合招标文件、乙方投标文件的规定或约定，具体如下：

5.1 招标内容及主要技术参数要求 5.1.1该设备应包含计算机控制及控制系统、晶片沉积腔、高温前驱体传输及喷射系统、自动气体流量控制系统、独立粉末沉积腔等。 5.1.2系统总体配置 5.1.2.1计算机控制及控制主板1套。 5.1.2.2晶片沉积腔1个。 5.1.2.3 4英寸高温样品台1个。 5.1.2.4前驱体源4+2+2路（可扩展）。 5.1.2.5高温前驱体传输及喷射系统1套。 5.1.2.6前驱体加热器3套。 5.1.2.7防腐真空泵1个。 5.1.2.8自动气体流量控制系统2套。 5.1.2.9自动温度控制系统1套6路。 5.1.2.10旋转粉末沉积腔一个。 5.1.2.11设备外部尺寸：≤960mm长×710mm宽×1700mm高。 5.1.2.12设备底部到可锁定滚轮，移动方便，总功耗：＜3kw。 5. 1.2.13配备远程等离子体加热装置。国际品牌高端远程ICP等离子体源,功率300W,包括自动等离子体匹配 5.1.2.14等离子体加热温度≥450℃。 5.1.3各单元技术指标 5.1.3.1计算机控制及控制主板 5.1.3.1.1 Windows 操作系统。全自动国际顶级品牌12“16位高彩色触摸屏控制。专业的ZLD Tech软件控制系统，包括自动及手动界面，系统监控界面，工艺菜单编辑界面（简易工步预设格式，多工艺菜单存储功能）。实时数据记录包括工艺菜单，工艺过程参数，报警，设备运行的实时日志数据，数据为可下载的CSV格式，32GB存储大小，USB兼容。报警及安全控制包括软件报警，出错日志记录及外部报警指示灯，内置工业标准自动安全互锁，用于温度，压力，气流，源串扰，装载和卸载，电气和气动控制异常，EMO紧急制动按钮 。 5.1.3.2晶片沉积腔 5.1.3.2.1高端高纯铝合金或不锈钢制作，整体机加工制成的无焊接腔体。腔壁可加热至 300度无须水冷含气体均布分散头。 5.1.3.2.2腔壁可加热至300度,无须水冷, 含气体均布分散头。。 5.1.3.3 4英寸高温样品台 5.1.3.3.1不锈钢高温样品，可放置4英寸样品最高加热温度 400度加温与腔壁独立独特设计，足够PEALD工艺温度（PEALD主要作用之一就是降低生长温度），配备专业的外拉式真空舱门，换样方便。 5.1.3.4前驱体源4+2+2+1路。配置4+2个液体或固体源（Al，Ti，Zn），2个反应气体管线（H2,NH3,O2/O3）和1条吹扫气体管线 5.1.3.4.14+2=6路固液前驱体配置，可用于Zn,Ti, Al等固态或液态前驱体源。2路气态前驱体配置，可用于H2,NH3,O2/O3等气态前驱体源和1条吹扫气体管线；每路含相应计算机自动控制及电路，快速ALD阀，带手动切断阀的前驱体瓶固液前驱体配置含化学电抛光高纯不锈钢前驱体瓶，50 毫升。配带高温手动阀，最高可承受 150度高温，5ms内完成阀门开启或关闭 5.1.3.4.2全金属密封，标准1/4”VCR金属接头,50cc容量。 5.1.3.5高温前驱体传输及喷射系统 5.1.3.5.1RT-120度（可选150度）高温前驱体传输，防止前驱体冷凝。 5.1.3.5.2专用高速ALD阀, 响应时间＜10ms；金属膜片密封，减少残余气体。具有自清洗结构，防止前驱体在管道残留沉积。 5.1.3.6前驱体加热器 1.3.6.1RT-150度,硅橡胶夹层薄膜加热器含高热传导均温结构；K型热电偶测温；优良保温结构，金属外壳。 5.1.3.7防腐真空泵 5.1.3.7.1高性能化学防腐专用真空泵可耐腐蚀性气体；类特氟龙氟化真空泵油，防腐且耐用，泵油可过滤循环使用而不更换。 5.1.3.7.2双级旋腔抽真空，抽速10 m3/h本底真空0.1Pa；低能耗（功率 500W）, 低噪音 （＜52db）。 5.1.3.8自动气体流量控制系统 5.1.3.8.1两个自动气体流量控制器MFC 与计算机自动控制系统相连，量程更大，0-200或500 sccm流量精确控制。 5.1.3.8.2计算机接口自动温度控制系统。 5.1.3.9旋转粉末沉积腔 5.1.3.9.1旋转粉末沉积腔1个，容量等于500ml 粉末ALD沉积腔，腔体旋转配不锈钢样品桶加热温度到350度。专利设计的粉末样品桶，可旋转，转速最高100RPM，最高工艺温度350度。 5.1.3.10粉末原子层沉积精度：±1%。 5.1.3.11等离子体调谐器。 5.1.3.12臭氧发生器。1套臭氧发生器，质量浓度大于5%，配备ALD阀组设计，配臭氧消除器（安全要求） 5.1.4系统安装技术指标 5.1.4.1载气：载气：UHP高纯氩气，经减压阀后到系统的压力为25 psi或0.15 MPa。使用更稳定安全的高端质量流量计MFC控制UHP高纯氩流，经减压阀后到系统的压力为25 psi或0.15 MPa 5.1.4.2气动气体：氮气, 普通纯度，经减压阀后到系统的压力为 65psi或 0.48 MPa。 5.1.4.3安装占地：约 1.5m×1m。 5.1.4.4无须水冷。 5.1.4.5最大功耗：＜4kw。。

6、验收

6.1验收应按照招标文件、乙方投标文件的规定或约定进行，具体如下：

验收期次验收期次说明 1乙方提供设备的制造标准、安装标准及技术规范等有关资料必须符合国家相应的有关标准、规范要求。 2甲方根据招标文件、中标人的投标文件、合同、制造厂商的产品验收标准及中华人民共和国有关标准进行验收。 3乙方应提供货物制造商的出厂检验报告、合格证书。 4乙方根据合同要求进行系统安装、调试后，由甲方进行使用性能方面的验收。 5乙方应向甲方提供完整的设备技术资料，甲方有权委托国内有资质的单位对设备性能、精度进行复核。 （1）、验收标准 甲方在乙方货物安装调试完成后，应按合同中的相关条款及招标文件、投标文件以及国家和行业验收规范要求及对本合同所约定的清单及安装调试后的使用性能等验收，产品质量须达到设计要求，安装调试各项指标须符合技术参数。 （2）、验收程序和方法 模块安装完毕后，乙方对所有系统的性能进行自检，检验结果必须符合投标文件技术要求以及合同中相关条款，同时向甲方提供自检记录。 乙方对所的供产品安装完毕自检后，甲方与有关管理部门按招标文件以及合同相关条款要求一同对系统进行验收，同时甲方有权委托国家相关具有检验资质的部门、单位、机构对中标产品的质量、性能进行检验，验收结果应符合甲方使用要求。在此期间，若发现系统存在各项问题乙方应无条件免费更换，并无条件重新检测并调试直至验收合格交付使用。 （3）、乙方在甲方安装现场进行最终验收所发生的一切费用均由乙方承担。。

6.2本项目是否邀请其他投标人参与验收：

不邀请。

7、合同款项的支付应按照招标文件的规定进行，具体如下：

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8、履约保证金

有,具体如下:。

9、合同有效期

自本合同生效之日起至本合同约定的义务履行完毕止。。

10、违约责任

10.1甲方在乙方将合同清单上的物资设备运达指定地点后七个工作日后无正当理由不接收或不及时验收的，乙方有权按国家政府采购有关规定提请省政府采购办依法处理，并根据处理结果依法由甲方赔偿乙方损失。 10.2乙方所交设备不符合本合同要求的，甲方有权拒收；同时，乙方应向甲方偿付该设备款30%的违约金，且涉及到的部分合同条款终止履行。 10.3乙方不能交付设备的，乙方应向甲方偿付该设备款30%的违约金，且涉及到的部分合同条款终止履行。 10.4乙方逾期交付货物，乙方向甲方每日偿付设备款5‰的违约金。。

11、知识产权

11.1乙方提供的采购标的应符合国家知识产权法律、法规的规定且非假冒伪劣品；乙方还应保证甲方不受到第三方关于侵犯知识产权及专利权、商标权或工业设计权等知识产权方面的指控，任何第三方如果提出此方面指控均与甲方无关，乙方应与第三方交涉，并承担可能发生的一切法律责任、费用和后果；若甲方因此而遭致损失，则乙方应赔偿该损失。

11.2若乙方提供的采购标的不符合国家知识产权法律、法规的规定或被有关主管机关认定为假冒伪劣品，则乙方中标资格将被取消；甲方还将按照有关法律、法规和规章的规定进行处理，具体如下：乙方承担可能发生的责任与一切费用。 若有违约,按本合同约定追究其违约责任。。

12、解决争议的方法

12.1甲、乙双方协商解决。

12.2若协商解决不成，则通过下列途径之一解决：

提交仲裁委员会仲裁，具体如下：向厦门仲裁委员会提交仲裁申请。。
向人民法院提起诉讼，具体如下：。

13、不可抗力

13.1因不可抗力造成违约的，遭受不可抗力一方应及时向对方通报不能履行或不能完全履行的理由，并在随后取得有关主管机关证明后的15日内向另一方提供不可抗力发生及持续期间的充分证据。基于以上行为，允许遭受不可抗力一方延期履行、部分履行或不履行合同，并根据情况可部分或全部免于承担违约责任。

13.2本合同中的不可抗力指不能预见、不能避免、不能克服的客观情况，包括但不限于：自然灾害如地震、台风、洪水、火灾及政府行为、法律规定或其适用的变化或其他任何无法预见、避免或控制的事件。

14、合同条款

根据实际情况填写。招标文件第五章已有规定的，双方均不得对规定进行变更或调整；招标文件第五章未作规定的，双方可通过友好协商进行约定。14.1保修条款：乙方须为甲方免费安装、调试及对甲方技术人员的操作、保养等方面进行专业培训，直至能独立操作，每年至少2次，每次不少于1天的专业培训，乙方委派的专业技术人员所需费用均由乙方承担。免费提供所购软件中文版的操作说明书及相关技术资料。14.2乙方对此次招标采购的货物应按照招标文件的要求提供合格的产品，对所供的货物提供1年的保修期，保修期内享受免费升级服务。乙方应详细提供货物的质量保修及售后服务方案承诺，并加盖乙方有效公章。保修期自合同签订之日开始计算；在质量保修期结束前1个月内，乙方须免费对货物进行一次全面的维护与保养。14.3维修服务的响应时间：在保修期内产品若发生故障，乙方应免费上门检修维护。乙方在接到甲方故障通知后应在1小时内作出电话响应，在1个工作日内给予解决方案并委派专业技术人员到达现场(逾期甲方有权另请他人维修，费用由乙方承担)，免费提供咨询、维护等服务，重大问题或其他较难解决的问题应在2个工作日内给予方案并解决，如因乙方原因不能及时修复，保修期将相应顺延。

15、其他约定

15.1合同文件与本合同具有同等法律效力。

15.2本合同未尽事宜，双方可另行补充。

15.3本合同自签订之日起生效。

15.4本合同纸质文件一式伍份。合同电子文本通过政府采购网上公开信息系统自动备案。合同纸质文本需与备案电子文本一致，以备案电子文本为准，具有同等效力。

15.5其他：无。

签订地点：厦门市