嘉兴学院微纳增材制造实验室建设项目的合同公示
嘉兴学院微纳增材制造实验室建设项目的合同公示
一、 采购人名称：嘉兴学院
二、 供应商名称：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
三、 采购项目名称：嘉兴学院微纳增材制造实验室建设项目
四、 采购项目编号：中磊-ZJZL-JX（2019）第9-1号
五、 合同编号：2020-20916
六、 合同内容：
| 标项序号 | 标项名称 | 规格型号 | 单位 | 数量 | 单价(元) | 合同总额(元) | 预算金额(元) |
| 1 | 嘉兴学院微纳增材制造实验室建设 | 一、系统的主要组成及技术指标 ★溅射室极限真空度：≤6.67x10-6 Pa (经烘烤除气后)； ★进样室极限真空度：≤6.67x10-4 Pa (经烘烤除气后) ★系统从大气开始抽气：溅射室40分钟可达到6.6x10-4 Pa； 进样室40分钟可达到6.6x10-3 Pa 系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片加热台、进样室、样品库、磁力送样机构、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成； 1 、溅射真空室组件 1套 圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm，电动上掀盖结构； 2 、磁控溅射靶组件（超高真空）3套 2.1 、靶材尺寸：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）； 3 、基片加热台组件1套 3.1 、基片尺寸：可放置50mm基片； ★3.2、基片加热最高显示温度 800°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制； 4 、进样室组件 1套 圆筒型卧式真空室尺寸Ф250mm x420mm，； 5 、磁力送样机构 用于样品从溅射室与进样室间取送。 6 、工作气路 1套 6.1 200SCCM、100SCCM质量流量控制器共2路 7 、抽气机组及阀门、管道 1套 7.1 、复合分子泵及变频控制电源：1台（KYKY、FF160/620）； 7.2 、复合分子泵及电源：1台（KYKY、FF110） 7.3 、机械泵：1台（抽速8升/秒，浙江）； 7.4 、机械泵：1台（抽速4升/秒，浙江） 8 、真空测量及电控系统 1套 8.1 总控制电源：1台； 8.2 水流报警系统：1套； 8.3 样品加热控温电源：1套； 8.4 步进电机旋转电源：1套； 8.5 靶挡板电源：3套； 8.6 加热烘烤及照明电源：2套； 8.7 宽量程数显真空计：2套 8.8 薄膜真空计：1套； 8.9 200SCCM、100SCCM质量流量显示器：各1套； 8.10 500W直流电源：1套； 8.11 600W射频电源：2套 9、自动冷却水循环机 1台 | 套 | 1 | / | 637900.00 | 640000 |
付款方式、售后服务、违约责任详见合同附件。
服务要求或标的基本概况：/
七、 其它事项：
八、 联系方式
1、采购代理机构名称：浙江中磊工程咨询有限公司
联系人：袁斐
联系电话：137*****343
传真：/
地址：嘉兴市中环南路中环广场东区A单元401
2、采购人名称：嘉兴学院
联系人：温燕
联系电话：****-********
传真：/
地址：嘉兴市文昌路671号嘉兴学院北区嘉兴学院采购中心
3、同级政府采购监督管理部门名称：嘉兴市财政局
联系人：/
监督投诉电话：****-********
传真：/
地址：/
********9/20205/daefc8e3-fbb4-4e2f-a574-79b551381dcb">微纳-单一来源.pdf
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