等离子灰化仪中标结果

等离子灰化仪中标结果



中标信息
成交供应商:山西巢原科贸有限公司
选择理由:总价最低,推荐成交
质疑投诉说明:如有质疑,请在三个工作日内将质疑说明文件(纸质)递交至招标与采购中心,逾期不予受理。
项目名称等离子灰化仪项目编号TYLGJJCG2020-0093
公告发布日期2020/05/19 10:05报价截止时间2020/05/22 10:05
采购单位太原理工大学付款条款预付100%。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系手机中标后在我参与的项目中查看
是否本地化服务是否需要踏勘
踏勘联系人踏勘联系电话
踏勘地点踏勘联系时间
采购预算¥98,500.00成交金额¥95,000.00
送货/施工/服务期限合同生效之日起90日内
送货/施工/服务地址太原理工大学迎西校区博学馆c座702

采购清单
1
采购内容是否进口计量单位采购数量售后服务分项报价
等离子灰化仪1(1)质保期:仪器在调试验收合格后,提供一年质保期。(2)质量保证:兹保证提供设备是全新的、未使用过的商品,完全符合采购设备规定的质量、规格和性能的要求,保证提供的设备在正确安装、正常使用和保养条件下,在规定的使用寿命期内具有满意的性能。(3)质保期外提供终身维修服务。在质保期外,报修电话24小时响应,对客户的服务要求在8小时内给予答复,在确认符合维修条件后的3个工作日内进行维修。(4)对仪器提供终身的技术支持和优良的售后服务,包括免费定期软件升级及程序更新服务。¥95,000.00
参考品牌及型号德国Diener ATTO
技术参数要求一,技术参数*1.控制系统:a.控制系统界面:便捷的7寸 PC 触摸屏Windows控制系统b.两种控制模式:自动/手动控制模式自由切换c.自动控制模式:可存储多套工艺程序,实时显示工艺过程,可通过图表和数字及二维曲线多种方式实时显示腔体真空压力、抽真空时间、气体流量、工艺气体供气时间、等离子清洗时间、等离子功率强度等工艺参数。d.手动控制模式:可通过直接敲击相应控制单元的图表进行设置,实验次数少或者处于工艺开发阶段可以使用手动模式,方便快捷。*e.安全功能:温度、真空压力、门锁互锁报警功能.任何一个工艺达不到其他工艺流程不会启动。f.报警功能:工艺气体异常报警,真空压力异常,等离子作用异常、抽真空时间超时报警,设置参数异常或运行异常报警并显示详细报错信息,不可逆操作功能.*g.多语言:中文、英语,德语等。控制模块有文字及图标两种方式说明。*2.工艺气路:a.2路MFC数字式流量计(O2 AR N2 H2等非腐蚀气体).气体名称可标识及选择,可调节流量大小,气体混合比例及通气时间.b.工艺气体可以通过控制腔体压力或调节气体流量两种方式控制。c.配有慢速进气及抽气控制模块,防止样品飞扬。*3.压力控制:*a.配有Diener德国原装Pirani压力传感器,量程0.01-9.99mba,实时数字显示工艺舱的压力值.腔体后端紧密连接。b.工艺压力:有压力上限保护功能,可以防止供气或者真空系统故障造成样品损伤及设备异常运转.c.压力异常(泄漏,缺气,供气系统破损)报警并停止运行,起到保护作用且方便发现供气系统异常找出问题.d.可调节设定腔体抽真空所要达到压力及等离子工艺时工艺气体压力.e.压力互锁功能。抽真空压力0.4mba以下,其他工艺功能才能启动。*4.发生器:*a.Diener原装射频发生器,频率13.56MHZ,功率0~300W连续可调.百分之调节设置。*b.具有电流过载保护功能。*c.反射波自动调节匹配。*d.Diener式多级环式电极:腔体外包覆5个以上环形电极且均匀分布,保证均匀性。*5.反应腔:*a.反应腔材质为5MM硬质高纯硼硅玻璃。*b.腔体尺寸:圆形腔体,直径211mm.深300mm.容积大约10.5L.*c.外置环绕电极,电极不会与样品接触防止交叉污染及接触损坏.*d.铰链门,带观察窗,实时观测腔体动态.装有门报警开关,门闭合不到位,漏气会报警.门配有观察窗,带有屏蔽网减少电磁干扰。*6真空泵:a.抽气速度8m3/h.*b.真空泵与设备联动控制,不需要单独配电。真空更泵有等离子设备控制启停。

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 等离子

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