磁控溅射薄膜沉积系统中标结果

磁控溅射薄膜沉积系统中标结果

上海教育建设管理咨询有限公司受复旦大学的委托,就“复旦大学磁控溅射薄膜沉积系统采购”项目(项目编号:HW********03)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:一、项目信息项目编号:HW********03项目名称:复旦大学磁控溅射薄膜沉积系统采购项目联系人:沈娴钰联系方式:*********8112二、采购单位信息采购单位名称:复旦大学采购单位地址:上海市邯郸路220号采购单位联系方式:张老师 ********三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:1、本项目采购磁控溅射薄膜沉积系统一套,包括真空机组、真空腔体、磁控溅射靶组件、基片台组件、气路组件、控制系统,可适用于Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si、Cu、Fe、Ni、氧化铝,氧化钛,氧化锆,ITO,AZO,氮化钽,氮化钛等。2、项目地址:邯郸路220号复旦大学校内。3、供货周期:合同签订后 15日内供货并安装调试完毕。四、采购代理机构信息采购代理机构全称:上海教育建设管理咨询有限公司复旦大学磁控溅射薄膜沉积系统采购中标公告 页码,1/2http://www.ccgp.gov.cn/cggg/zygg/zbgg/202006/t********_********.htm 2020-6-24采购代理机构地址:钦江路88号东楼626室采购代理机构联系方式:沈娴钰 *********8112五、中标信息招标公告日期:2020年06月01日中标日期:2020年06月23日总中标金额:60.0 万元(人民币)中标供应商名称、联系地址及中标金额:序号 中标供应商名称 中标供应商联系地址 中标金额(万元)1 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 沈阳市浑南新区新源街1号 60.000000本项目招标代理费总金额:0.6005 万元(人民币)本项目招标代理费收费标准:详见招标文件评审专家名单:朱剑铭、罗勇军、王丽莉 、吴建荣、江安全中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:中标标的主要设备:溅射真空室500mm 1个 单价54000元磁控溅射靶 3套 单价11000元射频电源机匹配器500w 1台 单价42000元直流检测电源500w 2台 单价5200元

标签: 沉积系统 薄膜 磁控溅射

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