成交供应商：山东锦华智能科技有限公司
成交金额：409500.0(CNY)
选标理由：1.山东锦华智能科技具有总代的授权书和质保函，设备的品质有保证，售后服务有保障；2.山东锦华智能科技有限公司具有中环定制仪器完整的方案，而且方案和使用老师实验方向一致，配置更高（4. 等离子射频电源装置 5. 四路质量流量控制系统采用日本HORIBA品牌，inficon品牌防腐型真空计6. 真空系统（进口爱德华泵），关键气体链接部分均采用304不锈钢制作，可以实现等离子体氢化等所需功能，设备更有保障）；3.显示出2年内使用的全部专用配套零配件一整套和专用耗材配件一套部分配套清单，根据客户的要求，服务更完善；4.PECVD前面几家低价报价公司不能实现等离子体功能，属于标准的CVD，同时不具备厂家授权书，因此不作为备选。目前仅有的两家具备厂家授权和质保的公司中，山东锦华智能科技公司定制的PECVD可以实现等离子体处理功能，并具备相应的部件，因此选标该产品。