中国科学院上海微系统与信息技术研究所光掩模研发中试平台项目
地区：重庆
项目进度：勘察设计
更新时间：2014年03月21日
项目详情
项目概况：中国科学院上海微系统与信息技术研究所光掩模研发中试平台项目 工程地址：上海徐汇区宜山路800号 工程进度：勘察设计 项目性质：新建 项目简介：中国科学院上海微系统与信息技术研究所光掩模研发中试平台项目 兴建一幢四层高的生产车间和生产线,占地面积为20,840平方米,总建筑面积为6,086平方米。 *新建一幢4F的生产车间,主要用于90纳米光掩模的研发生产,规模为年产90纳米光掩模4,000块。建设投资估算值为6,500万元人民《查看详情》
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