增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目项目调整
地区：上海
项目进度：环评公示
更新时间：2014年05月26日
项目详情
项目概况：增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目项目调整 工程地址：上海浦东新区张江路18号现有厂址 工程进度：环评公示 项目性质：新建 项目简介：增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目项目调整项目内容：增资建设12英寸集成电路芯片生产线项目项目调整实施过程中，与原环评文件的内容有四点变更，主要为改变晶圆清洗方式，调整并增加清洗设备，增加硫酸、双氧水用量，相应增加废酸产生量。（2）为提高良品率，增加湿蚀刻过程中磷酸使用量。（3）Wet机台使用的硝酸废液增加废酸收集槽，收集后委托有资质单位处理。（4）新增风机一套，由原来6套改为6用1备（共7套），总风量不超过原环评48万立方米/小时。现针对以上变更重新评价。《查看详情》
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