大尺寸SiC单晶及其功率器件
地区：河南
项目进度：项目备案申请
更新时间：2013年07月30日
项目详情
项目概况：大尺寸SiC单晶及其功率器件 工程地址：新乡经济技术开发区纬七路与经九路交叉口东南角 工程进度：项目备案申请 项目性质：新建 项目简介：项 目 名 称 大尺寸SiC单晶及其功率器件 建设规模、工艺技术、主要装备（含引进）、市场预测 本项目建设地占地85亩，其中一期新建车间建筑面积3000平方米。项目采用工艺技术如下：大尺寸SiC单晶生长 SiC衬底加工及检测 在衬底上进行厚外延层生长 进行SiC-IGBT器件设计 SiC-IGBT器件制备与封装 产品检验、入库 发货；运用的主要设备有单晶材料生长、加工以及检测设备，如晶体生长炉、原料合成炉、高温退火炉、大型X射线定向仪以及检漏仪等，外延生长工艺设备主要以外延生长炉为主，...《查看详情》
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