集成电路300mm晶圆单片处理设备研发及产业化工程项目(沈阳芯源微电子设备有限公司)
地区：辽宁
项目进度：竣工验收
更新时间：2016年10月13日
项目详情
项目概况：集成电路300mm晶圆单片处理设备研发及产业化工程项目 工程地址：沈阳市浑南区飞云路 16 号 工程进度：竣工验收 项目性质：新建 项目简介： 集成电路300mm晶圆单片处理设备研发及产业化工程项目 项目概况建设地点：本项目位于沈阳市浑南区飞云路 16 号。项目地理位置图见图 1。地理位置图四邻关系：本项目东侧为沈阳 IC 装备产业园，南侧为飞云路，西侧为辽宁省电信公司，北侧为足球场。项目周边关系见图 2。周边关系图项目规模：本项目无新建厂房，依托原有三＃净化厂房，将三＃净化厂房进行配套系统的升级（空气净化、恒温恒湿、真空、压缩空气），并在三＃净化厂房挖管线工艺沟，进行少量土建工程。沈阳芯源微电子设备有限公司厂房扩建项...《查看详情》
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