四川广瑞半导体有限公司8英寸集成电路硅外延片产业化生产项目
地区：四川
项目进度：环评公示
更新时间：2016年11月25日
项目详情
项目概况：四川广瑞半导体有限公司8英寸集成电路硅外延片产业化生产项目 工程地址：遂宁经济技术开发区台商工业园二期 工程进度：环评公示 项目性质：新建 项目简介：四川广瑞半导体有限公司8英寸集成电路硅外延片产业化生产项目项目拟在遂宁经济技术开发区台商工业园二期内选址实施，主要建设内容为：新建三栋分别为4层、6层和4层的厂房（其中2#和3#作为预留厂房），1#厂房的一层为生产车间（2~4层为办公用房），布设有氮气吹扫、气相抛光、外延生长、碱洗、水洗和酸洗等生产工序；同层还布设有2台1.66t/h燃气锅炉、超纯水制备和制氢、气体纯化（设超纯氢气和高纯氮气制备）、循环冷却水系统和空压站等公辅设施，硅烷站、腐蚀气体储存和易燃易爆气体储存间...《查看详情》
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