拟采购1套。要求:晶圆尺寸:可兼容200mm及以下尺寸硅片、不规则片;注入元素:含B、P、N、Ar、...(离子束注入在正文或附件中)
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清华大学2022年12月政府采购意向-8’’离子束注入机-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额2800.000000万元(人民币) 2022-12-1北京 -
清华大学2022年12月政府采购意向-8”离子束注入机-A030808试验专用设备-预算金额2800.000000万元(人民币) 拟采购8”离子束注入机一台主要技术参数:晶圆尺寸:可兼容200mm及以下尺寸硅片、不规则片注入元素:...(离子束注入在正文或附件中)
2022-11-25北京
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