项目概况

东南大学微纳系统国际创新中心原子层沉积ALD采购 招标项目的潜在投标 (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层获取招标文件，并于2022年11月09日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：JSHC-*C1

项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心原子层沉积ALD采购

预算金额：204.* 万元（人民币）

采购需求：

东南大学微纳系统国际创新中心拟购买原子层沉积一套，用于多种氧化物和氮化物及多层复合纳米薄膜的精确可控制备，主要技术参数：

1.腔体结构采用双腔体结构设计，即真空外腔+反应内腔。反应内腔安装于真空外腔内，反应内腔体积不大于1升，同时方便拆卸和保养。真空腔室漏率需小于5*10^-10Pa.m³/s。样品加热器安装于反应腔外部，外腔无需水冷温度可低于60℃。样品台加热温度可达400℃，空间温度均匀性小于±2℃，温度控制精度为±0.1℃。

2.气流采用水平层流气体结构设计，前驱体源从腔室底部经过匀气缓冲小腔直接导入到内反应腔，流经样品表面发生吸附反应，残余前驱体源及反应产物从对称设计的另一侧抽气口抽走。

合同履行期限：详见采购文件

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

《政府采购促进中小企业发展管理办法》；《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》；《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》；《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》

3.本项目的特定资格要求：无。3.1具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照复印件）；3.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2021年11月至投标截止时间前任一月份的资产负债表和利润表，或2020/2021年度审计报告，或银行出具的针对本项目的资信证明，或财政部门认可的专业担保机构出具的投标担保函）；（法人或者其他组织成立未满一年的可以不提供）3.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料或承诺函）； 3.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供2021年11月至投标截止时间前任一月份依法缴纳税收的凭据，以及缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险的凭据）。依法免税或不需要缴纳社会保障资金的投标供应商，应提供相应文件证明）；3.5参加本次采购活动前三年内（成立时间不足三年的自成立之日起），在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）；3.6投标供应商须提供法定代表人授权书原件、法定代表人身份证复印件、授权代表身份证复印件（如果是法定代表人直接参与投标的可以不提供授权书）。4.是否专门面向中小企业：否5.本项目接受进口产品投标（注：本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品），如果所投产品是进口产品需提供设备制造商或其驻中国办事机构或其在中国销售总代理的针对本项目的销售代理授权委托书。6.拒绝下述供应商参加本次采购活动:6.1为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的；6.2供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的采购活动；6.3被“信用中国”网站(http://**.cn)或中国 (略) (http://**.cn)）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、政府采购严重违法失信行为记录名单的。

三、获取招标文件

时间：2022年10月18日至2022年10月24日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点： (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层

方式：获取采购文件须提供的资料：加盖公章的授权委托书原件或扫描件、加盖公章的被委托人身份证复印件或扫描件，及汇款凭据的截图（ (略) 名称+660C1）。 获取采购文件电话：025-*邮箱：*@*63.com

售价：￥*，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2022年11月09日 09点30分（北京时间）

开标时间：2022年11月09日 09点30分（北京时间）

地点： (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层开标大厅

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.评标方法和标准：采用综合评分法。

2.此采购公告在中国 (略) （http://**）、东南大学采购中心（http://**）、云采通（http://**）发布。

3.受疫情影响，供应商必须在递交投标文件截止时间前，将投标文件密封好邮寄至 (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层，蔡工/张工<收>联系方式：025-*/*。逾期送达或未密封的投标文件将被拒收（建议通过顺丰或EMS方式邮寄）。供应商应充分考虑投标文件邮寄在途时长，以及注重文件包装的严密性、防水性。供应商承诺：自行承担邮寄标书丢失、破损等风险以及由此导致的流标、投标被否决的后果。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：东南大学　　　　　

地址： (略) 玄武区四牌楼2号　　　　　　　　

联系方式： (略) ：贺老师* 实验室与设备管理处：刘老师025-*　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：江 (略) 　　　　　　　　　　　　

地　址： (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层　　　　　　　　　　　　

联系方式：张工/蔡工 025-*　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：张工/蔡工

电　话：　　025-*

项目概况

东南大学微纳系统国际创新中心原子层沉积ALD采购 招标项目的潜在投标 (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层获取招标文件，并于2022年11月09日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：JSHC-*C1

项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心原子层沉积ALD采购

预算金额：204.* 万元（人民币）

采购需求：

东南大学微纳系统国际创新中心拟购买原子层沉积一套，用于多种氧化物和氮化物及多层复合纳米薄膜的精确可控制备，主要技术参数：

1.腔体结构采用双腔体结构设计，即真空外腔+反应内腔。反应内腔安装于真空外腔内，反应内腔体积不大于1升，同时方便拆卸和保养。真空腔室漏率需小于5*10^-10Pa.m³/s。样品加热器安装于反应腔外部，外腔无需水冷温度可低于60℃。样品台加热温度可达400℃，空间温度均匀性小于±2℃，温度控制精度为±0.1℃。

2.气流采用水平层流气体结构设计，前驱体源从腔室底部经过匀气缓冲小腔直接导入到内反应腔，流经样品表面发生吸附反应，残余前驱体源及反应产物从对称设计的另一侧抽气口抽走。

合同履行期限：详见采购文件

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

《政府采购促进中小企业发展管理办法》；《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》；《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》；《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》

3.本项目的特定资格要求：无。3.1具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照复印件）；3.2具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2021年11月至投标截止时间前任一月份的资产负债表和利润表，或2020/2021年度审计报告，或银行出具的针对本项目的资信证明，或财政部门认可的专业担保机构出具的投标担保函）；（法人或者其他组织成立未满一年的可以不提供）3.3具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料或承诺函）； 3.4有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供2021年11月至投标截止时间前任一月份依法缴纳税收的凭据，以及缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险的凭据）。依法免税或不需要缴纳社会保障资金的投标供应商，应提供相应文件证明）；3.5参加本次采购活动前三年内（成立时间不足三年的自成立之日起），在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次采购活动前三年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）；3.6投标供应商须提供法定代表人授权书原件、法定代表人身份证复印件、授权代表身份证复印件（如果是法定代表人直接参与投标的可以不提供授权书）。4.是否专门面向中小企业：否5.本项目接受进口产品投标（注：本文件所称进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品），如果所投产品是进口产品需提供设备制造商或其驻中国办事机构或其在中国销售总代理的针对本项目的销售代理授权委托书。6.拒绝下述供应商参加本次采购活动:6.1为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的；6.2供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的采购活动；6.3被“信用中国”网站(http://**.cn)或中国 (略) (http://**.cn)）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、政府采购严重违法失信行为记录名单的。

三、获取招标文件

时间：2022年10月18日至2022年10月24日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点： (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层

方式：获取采购文件须提供的资料：加盖公章的授权委托书原件或扫描件、加盖公章的被委托人身份证复印件或扫描件，及汇款凭据的截图（ (略) 名称+660C1）。 获取采购文件电话：025-*邮箱：*@*63.com

售价：￥*，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2022年11月09日 09点30分（北京时间）

开标时间：2022年11月09日 09点30分（北京时间）

地点： (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层开标大厅

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.评标方法和标准：采用综合评分法。

2.此采购公告在中国 (略) （http://**）、东南大学采购中心（http://**）、云采通（http://**）发布。

3.受疫情影响，供应商必须在递交投标文件截止时间前，将投标文件密封好邮寄至 (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层，蔡工/张工<收>联系方式：025-*/*。逾期送达或未密封的投标文件将被拒收（建议通过顺丰或EMS方式邮寄）。供应商应充分考虑投标文件邮寄在途时长，以及注重文件包装的严密性、防水性。供应商承诺：自行承担邮寄标书丢失、破损等风险以及由此导致的流标、投标被否决的后果。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：东南大学　　　　　

地址： (略) 玄武区四牌楼2号　　　　　　　　

联系方式： (略) ：贺老师* 实验室与设备管理处：刘老师025-*　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：江 (略) 　　　　　　　　　　　　

地　址： (略) 建邺区嘉陵江东街8号综合体B3栋一单元16层　　　　　　　　　　　　

联系方式：张工/蔡工 025-*　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：张工/蔡工

电　话：　　025-*