中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所IBE离子束刻蚀机采购项目国际招标公告(1)
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所IBE离子束刻蚀机采购项目国际招标公告(1)
东方 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于**在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1: IBE离子束刻蚀机 1套
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0729-224OIT*/01
招标项目名称: (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所IBE离子束刻蚀机采购项目
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | IBE离子束刻蚀机 | 1套 | 本设备用于6/8英寸多种薄膜材料(金属、氧化物、半导体)的均匀离子束刻蚀工艺加工,设备具备6/8英寸工艺兼容、全自动cassette式传送模块 | 合同签订后12个月内 |
东方 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于**在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1: IBE离子束刻蚀机 1套
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0729-224OIT*/01
招标项目名称: (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所IBE离子束刻蚀机采购项目
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | IBE离子束刻蚀机 | 1套 | 本设备用于6/8英寸多种薄膜材料(金属、氧化物、半导体)的均匀离子束刻蚀工艺加工,设备具备6/8英寸工艺兼容、全自动cassette式传送模块 | 合同签订后12个月内 |
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