详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)
沈阳仪 (略) 膜厚仪设备采购项目
公开招标公告
招标编号：XDZH-2022YBHW-18
公告发布时间：2023 年 10 月 25 日
1. 招标条件
本招标项目为膜厚仪设备采购项目，招标人为沈阳仪 (略) ，
为高精度传感器项目专项资金。该项目已具备招标条件，现对膜厚仪设备采购项
目进行公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标内容：膜厚仪设备 1 台，最高限价 40 万元。
2.2 主要技术要求：
2.2.1 对于单晶硅的测量，可测量单晶硅膜厚范围包括但不限于 75-
300um，精度 1um，分辨率 0.1um
2.2.2 支持膜另一面粘黑蜡直接测量
2.2.3 多种量程多种材料可编辑 recipe，且支持一键调用
2.2.4 配备 CCD 辅助对准
2.2.5 光源波段包含 950-1100nm
2.2.6 具备垂直调节光纤调节XY 调节和倾斜调节
2.3 交货期：2 个月内。
2.4 交货地点：买方所在地。
3. 投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格
3.2 制造商应具有两年以上相关产品的生产经验
3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件，应具有三年以上
相关产品的销售经验
3.4 本次招标 不接受 联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1 发售时间：2023 年 10 月 26 日 9:00 时至 2023 年 11 月 1 日 16: 00
时北京时间，节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 300 元，售后不退。
4.3 招标文件购买方式：在发售时间内， (略) 皇姑区昆山中路万众商务
大厦1705室现场领购或通过电子邮件xdgjybyyeah.net提交资格文件和获取
招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明法人代表证明
法定代表人签署的委托代理人授权书等。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 11 月 17 日 9 时 30 分前现
场递交至北京兴电 (略) 会议室地址： (略) 皇姑区昆山中路
2 号万众商务大厦。
5.2 逾期送达的未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
件，招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站http://**
上发布，因轻信其他组织个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人招标
代理机构概不负责。
7. 联系方式
招 标 人：沈阳仪 (略)
地 址： (略) 大东区北海街 242 号
联 系 人：潘浩
电 话：024-*
招标代理机构：北京兴电 (略)
地 址： (略) 皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人：尹洪伟付云鹏
联系电话：*
电子邮箱：xdgjybyyeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人： 签
名
招标人或其招标代理机构： 盖章
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沈阳仪 (略) 膜厚仪设备采购项目
公开招标公告
招标编号：XDZH-2022YBHW-18
公告发布时间：2023 年 10 月 25 日
1. 招标条件
本招标项目为膜厚仪设备采购项目，招标人为沈阳仪 (略) ，
为高精度传感器项目专项资金。该项目已具备招标条件，现对膜厚仪设备采购项
目进行公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标内容：膜厚仪设备 1 台，最高限价 40 万元。
2.2 主要技术要求：
2.2.1 对于单晶硅的测量，可测量单晶硅膜厚范围包括但不限于 75-
300um，精度 1um，分辨率 0.1um
2.2.2 支持膜另一面粘黑蜡直接测量
2.2.3 多种量程多种材料可编辑 recipe，且支持一键调用
2.2.4 配备 CCD 辅助对准
2.2.5 光源波段包含 950-1100nm
2.2.6 具备垂直调节光纤调节XY 调节和倾斜调节
2.3 交货期：2 个月内。
2.4 交货地点：买方所在地。
3. 投标人资格要求
3.1 投标单位应具有独立法人资格
3.2 制造商应具有两年以上相关产品的生产经验
3.3 代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件，应具有三年以上
相关产品的销售经验
3.4 本次招标 不接受 联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1 发售时间：2023 年 10 月 26 日 9:00 时至 2023 年 11 月 1 日 16: 00
时北京时间，节假日除外。
4.2 招标文件每套售价 300 元，售后不退。
4.3 招标文件购买方式：在发售时间内， (略) 皇姑区昆山中路万众商务
大厦1705室现场领购或通过电子邮件xdgjybyyeah.net提交资格文件和获取
招标文件。资格文件包括：投标人和制造商独立法人资格证明法人代表证明
法定代表人签署的委托代理人授权书等。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间为 2023 年 11 月 17 日 9 时 30 分前现
场递交至北京兴电 (略) 会议室地址： (略) 皇姑区昆山中路
2 号万众商务大厦。
5.2 逾期送达的未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文
件，招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
本公告在中国招标投标公共服务平台网站http://**
上发布，因轻信其他组织个人或媒介提供的信息而造成损失的，招标人招标
代理机构概不负责。
7. 联系方式
招 标 人：沈阳仪 (略)
地 址： (略) 大东区北海街 242 号
联 系 人：潘浩
电 话：024-*
招标代理机构：北京兴电 (略)
地 址： (略) 皇姑区昆山中路 2 号
联 系 人：尹洪伟付云鹏
联系电话：*
电子邮箱：xdgjybyyeah.net
招标人或其招标代理机构主要负责人项目负责人： 签
名
招标人或其招标代理机构： 盖章
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