蒸镀设备
蒸镀设备
项目编号 | BA* | 项目名称 | OLED蒸镀设备 |
---|---|---|---|
经办人单位 | (略) | 经办人 | 李成龙 |
预算金额 | *.00 人民币 | 成交金额 | *.00 人民币 |
成交供应商 | 沈阳 (略) | 质保期 | 12 月 |
联系地址 | (略) - (略) -沈北新区蒲文路16-69号(101)201室 | 采购单位 | 吉林 (略) |
付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
供应商联系手机 | * | 交货时间 | 成交单签订后135天内交货 |
交货地址 | (略) - (略) -前进大街2699号吉林大学中心校区超分子楼B218 | ||
交货方式 | *方免费将产品送达*方用户单位指定地点。 | ||
包装及运费 | 由*方免费提供及承担 | ||
验收方式 | 以成交单为准,参考相关内容进行验收。验收程序以*方职能部门规定为准。 | ||
售后服务要求 | 1. 设备调试人员上门安装,免费培训。 2. 售后服务及时。 3. 保修期1年。 4. 对于质保期以外设备的维护,我公司将继续提供优质、价廉、及时的售后服务,终身维护。 | ||
采购材料 | 自主采购评审报告.pdf |
采购品目 | 其他电工、电子专用生产设备 | 品牌名称 | 奇汇 |
---|---|---|---|
名称 | OLE蒸镀设备 | 产地及生产商 | 中国-沈阳 (略) |
规格型号 | QHV-R168 | 数量 | 1 |
计量单位 | 台 | 保修年限 | 1 年 |
单价 | *.00 人民币 | 总价 | *.00 人民币 |
主要技术参数 | 序号 项 目 说 明 1. 极限真空 2×10-5Pa(新设备) 2. 漏 率 ≤6.7×10-8Pa·L/S 3. 工作真空 5×10-4Pa,从大气到工作真空时间小于15分钟(新设备,经过有机/金属源烘烤后充干燥N2) 4. 系统保压 系统抽到极限后,停泵关机12小时后,系统真空度保持状态≤2Pa。 5. 样品尺寸 32×32mm. 6. 样品架结构 自动掩膜圆盘样品架。5样品。 7. 样品架 0~30转/分。 8. 样品架与源表面距离 340mm固定 9. 蒸发源 有机蒸发源×10只,加热400度; 金属蒸发源×2只。可加200A;整圆周分布。 10. 蒸发源挡板 有机蒸发源挡板×10套,电动旋转 金属蒸发源挡板×2套,电动旋转。 11. 真空室开腔形式 手动前大开门结构 12. 膜厚探头 4套。(样品架中心弯管安装一套水冷探头,侧壁安装三套。国产) 13. 真空计 冷规方式。 14. 抽真空方式 电动+气动,自动抽取真空,程序控制。 15. 膜厚及均一性 100nm≤±5%。 16. 控制方式 可控制金属蒸发电源、有机蒸发电源、膜厚仪 17. 对接口 可对接手套箱。 18. 蒸发方式 金属蒸镀闭环速率反馈蒸镀,有机源功率控制,温度控制方式。 19. 蒸发电源 有机蒸发电源×3套。(每套二带四) 金属蒸发电源×1套。 20. 电控 大触摸屏+PLC控制。 21. 内部烘烤: 无烘烤。 22. 膜厚不均匀性和重复性 ≤±3%(基片中心10mm×10mm范围内)。 |
项目编号 | BA* | 项目名称 | OLED蒸镀设备 |
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经办人单位 | (略) | 经办人 | 李成龙 |
预算金额 | *.00 人民币 | 成交金额 | *.00 人民币 |
成交供应商 | 沈阳 (略) | 质保期 | 12 月 |
联系地址 | (略) - (略) -沈北新区蒲文路16-69号(101)201室 | 采购单位 | 吉林 (略) |
付款方式 | 货到验收合格办理相关手续后100%付款。 | ||
供应商联系手机 | * | 交货时间 | 成交单签订后135天内交货 |
交货地址 | (略) - (略) -前进大街2699号吉林大学中心校区超分子楼B218 | ||
交货方式 | *方免费将产品送达*方用户单位指定地点。 | ||
包装及运费 | 由*方免费提供及承担 | ||
验收方式 | 以成交单为准,参考相关内容进行验收。验收程序以*方职能部门规定为准。 | ||
售后服务要求 | 1. 设备调试人员上门安装,免费培训。 2. 售后服务及时。 3. 保修期1年。 4. 对于质保期以外设备的维护,我公司将继续提供优质、价廉、及时的售后服务,终身维护。 | ||
采购材料 | 自主采购评审报告.pdf |
采购品目 | 其他电工、电子专用生产设备 | 品牌名称 | 奇汇 |
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名称 | OLE蒸镀设备 | 产地及生产商 | 中国-沈阳 (略) |
规格型号 | QHV-R168 | 数量 | 1 |
计量单位 | 台 | 保修年限 | 1 年 |
单价 | *.00 人民币 | 总价 | *.00 人民币 |
主要技术参数 | 序号 项 目 说 明 1. 极限真空 2×10-5Pa(新设备) 2. 漏 率 ≤6.7×10-8Pa·L/S 3. 工作真空 5×10-4Pa,从大气到工作真空时间小于15分钟(新设备,经过有机/金属源烘烤后充干燥N2) 4. 系统保压 系统抽到极限后,停泵关机12小时后,系统真空度保持状态≤2Pa。 5. 样品尺寸 32×32mm. 6. 样品架结构 自动掩膜圆盘样品架。5样品。 7. 样品架 0~30转/分。 8. 样品架与源表面距离 340mm固定 9. 蒸发源 有机蒸发源×10只,加热400度; 金属蒸发源×2只。可加200A;整圆周分布。 10. 蒸发源挡板 有机蒸发源挡板×10套,电动旋转 金属蒸发源挡板×2套,电动旋转。 11. 真空室开腔形式 手动前大开门结构 12. 膜厚探头 4套。(样品架中心弯管安装一套水冷探头,侧壁安装三套。国产) 13. 真空计 冷规方式。 14. 抽真空方式 电动+气动,自动抽取真空,程序控制。 15. 膜厚及均一性 100nm≤±5%。 16. 控制方式 可控制金属蒸发电源、有机蒸发电源、膜厚仪 17. 对接口 可对接手套箱。 18. 蒸发方式 金属蒸镀闭环速率反馈蒸镀,有机源功率控制,温度控制方式。 19. 蒸发电源 有机蒸发电源×3套。(每套二带四) 金属蒸发电源×1套。 20. 电控 大触摸屏+PLC控制。 21. 内部烘烤: 无烘烤。 22. 膜厚不均匀性和重复性 ≤±3%(基片中心10mm×10mm范围内)。 |
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