福建省巨量转移关键尺寸测量仪国际招标公告2/13包
福建省巨量转移关键尺寸测量仪国际招标公告2/13包
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-11-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:巨量转移关键尺寸测量仪 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-*/13
招标项目名称:巨量转移关键尺寸测量仪
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 巨量转移关键尺寸测量仪 | 1台 | (1)设备由腔体、测量平台、高分辨率CMOS显微镜、图像处理器、干涉仪和线性马达等构成,,用于测量PR线宽、曝光套刻精度和长寸(长寸测量需要长宽线宽测量仪),并能够自动把曝光套刻精度和长寸的测量数据反馈给曝光机。(2)基板尺寸:(650±0.5)mm×(750±0.5)mm。(3)在设备运行全过程中,玻璃基板上静电电压都需≤±100V | 0730-*/13 |
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-11-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:巨量转移关键尺寸测量仪 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-*/13
招标项目名称:巨量转移关键尺寸测量仪
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 巨量转移关键尺寸测量仪 | 1台 | (1)设备由腔体、测量平台、高分辨率CMOS显微镜、图像处理器、干涉仪和线性马达等构成,,用于测量PR线宽、曝光套刻精度和长寸(长寸测量需要长宽线宽测量仪),并能够自动把曝光套刻精度和长寸的测量数据反馈给曝光机。(2)基板尺寸:(650±0.5)mm×(750±0.5)mm。(3)在设备运行全过程中,玻璃基板上静电电压都需≤±100V | 0730-*/13 |
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