序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

产品名称： 刻蚀深度监控系统

数量：1套

硬件和性能参数

一、 刻蚀深度监控系统：

1.1） 一套刻蚀深度监控系统包括：1个带共线视觉系统的和1台电脑内置1套软件；

1.2） 带共线视觉系统的性能参数：

1.2.1）激光波长：670nm

激光光斑尺寸：≤40um @ FWHM

激光焦距的工作距离满足买方现有刻蚀机焦距要求

1.2.2）视觉系统：相机像素：≥6百万像素；图像最小分辨率：≤10μm

1.2.3）照明光束与激光光束同轴安装在设备内部

1.2.3) 手动X-Y移动台, X方向和Y方向行程：≥ 20mm，精度：≤2 μm

1.3） 1台控制电脑内置1套软件，通过线缆与设备主机头连接， 实现设备控制

1.3.1） 软件具有的功能要求如下：

内置标准材料库，可新建客制化材料库数据；

可在软件上输入晶圆膜层结构，并建模；

★ 可根据工艺不同，提供包含简单模式，模型模式，等不低于四种测量模式的终点检测模式；

刻蚀参数可设定：Filter Cut Off (Hz)， 延迟，过度刻蚀，测量推迟等

软件具备模拟运行功能，优化监控判停参数；

工艺参数记录功能，并可导出，分析监控结果并优化监控方案；

1.3.2）刻蚀深度监控系统预留通讯接口，便于以后与刻蚀机通讯功能；

二、安装要求

2.1）卖方需提供转接法兰，观察窗口等硬件，确保所提供的刻蚀深度监控系统可以垂直安装在现有的刻蚀机上， 并确保刻蚀深度监控系统焦距合适，可以正常工作。

现有的刻蚀机型号：Oxford Plasmalab System 100 ICP 180

三、培训和服务

3.1）卖方提供一次培训服务，确保买方人员可以正确使用

3.2）在质保期内，若买方刻蚀监控方案工艺有疑问，卖方免费提供刻蚀监控结果分析。

四、样机服务

4.1） 合同签订后，卖方提供一台样机免费给买方使用，买方进行使用和测试。

样机使用期限：3个月

2

售后服务）

售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能 (略) 理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，48小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进 (略) 理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。

3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进 (略) 理，合理收取维修费。

4、质保期:1年。

序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

产品名称： 刻蚀深度监控系统

数量：1套

硬件和性能参数

一、 刻蚀深度监控系统：

1.1） 一套刻蚀深度监控系统包括：1个带共线视觉系统的和1台电脑内置1套软件；

1.2） 带共线视觉系统的性能参数：

1.2.1）激光波长：670nm

激光光斑尺寸：≤40um @ FWHM

激光焦距的工作距离满足买方现有刻蚀机焦距要求

1.2.2）视觉系统：相机像素：≥6百万像素；图像最小分辨率：≤10μm

1.2.3）照明光束与激光光束同轴安装在设备内部

1.2.3) 手动X-Y移动台, X方向和Y方向行程：≥ 20mm，精度：≤2 μm

1.3） 1台控制电脑内置1套软件，通过线缆与设备主机头连接， 实现设备控制

1.3.1） 软件具有的功能要求如下：

内置标准材料库，可新建客制化材料库数据；

可在软件上输入晶圆膜层结构，并建模；

★ 可根据工艺不同，提供包含简单模式，模型模式，等不低于四种测量模式的终点检测模式；

刻蚀参数可设定：Filter Cut Off (Hz)， 延迟，过度刻蚀，测量推迟等

软件具备模拟运行功能，优化监控判停参数；

工艺参数记录功能，并可导出，分析监控结果并优化监控方案；

1.3.2）刻蚀深度监控系统预留通讯接口，便于以后与刻蚀机通讯功能；

二、安装要求

2.1）卖方需提供转接法兰，观察窗口等硬件，确保所提供的刻蚀深度监控系统可以垂直安装在现有的刻蚀机上， 并确保刻蚀深度监控系统焦距合适，可以正常工作。

现有的刻蚀机型号：Oxford Plasmalab System 100 ICP 180

三、培训和服务

3.1）卖方提供一次培训服务，确保买方人员可以正确使用

3.2）在质保期内，若买方刻蚀监控方案工艺有疑问，卖方免费提供刻蚀监控结果分析。

四、样机服务

4.1） 合同签订后，卖方提供一台样机免费给买方使用，买方进行使用和测试。

样机使用期限：3个月

2

售后服务）

售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能 (略) 理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，48小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进 (略) 理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。

3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进 (略) 理，合理收取维修费。

4、质保期:1年。