形貌测量仪招标公告
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形貌测量仪招标公告
一、项目概况
（一）项目编号：#
（二）项目名称：形貌测量仪
（三）项目内容及需求：
1、数量：1台
2、交期：90日历天
3、技术要求：
3.1性能要求：
(1)测试结果执行SEMI标准；
(2) 采用非接触式无损光学测量；
(3) 能够测试Thickness、Bow、Warp、TTV、TIR、LTV、LTIR等参数；
(4) 能够进行4线米字扫描、Fullmap面扫；
(5) 能够实现≤0.5 mm间隔Fullmap面扫；
(6) 精确度：≤0.25um；重复性：≤0.2um；分辨率：≤15nm；
(7) 设备产能(2mm间隔Fullmap面扫): ≥70WPH。
3.2 硬件要求
(1) 包含模块：测试模块、载物台、自动上下片模块；
(2) 双探头测试设备采用3点式支撑（Pin角向内距离≤5mm）；
3.3 自动化要求
自动化设备（能够自动上下片）、同时兼容手动放片模式
其他要求详见标书
二、资格要求
（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：
1、具有独立承担民事责任的能力。
2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。
3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
5、法律、行政法规规定的其他条件。
6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。
7、未被列入“信用中国”网站(http://**.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国 (略) ”（http://**.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单， (略) 上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。
（二）特定资格要求：
1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。
2、本次招标不接受联合体投标。
三、供应商资料递交截止时间和地点
（一）截止时间：2024-01-23 17:00
（二）地点： (略) 东湖技 (略) (略) 6号
四、联系事项
采购联系人：冯莎莎 电话：027-#
技术联系人：蒋工 电话：159-8355-3651
一、项目概况
（一）项目编号：#
（二）项目名称：形貌测量仪
（三）项目内容及需求：
1、数量：1台
2、交期：90日历天
3、技术要求：
3.1性能要求：
(1)测试结果执行SEMI标准；
(2) 采用非接触式无损光学测量；
(3) 能够测试Thickness、Bow、Warp、TTV、TIR、LTV、LTIR等参数；
(4) 能够进行4线米字扫描、Fullmap面扫；
(5) 能够实现≤0.5 mm间隔Fullmap面扫；
(6) 精确度：≤0.25um；重复性：≤0.2um；分辨率：≤15nm；
(7) 设备产能(2mm间隔Fullmap面扫): ≥70WPH。
3.2 硬件要求
(1) 包含模块：测试模块、载物台、自动上下片模块；
(2) 双探头测试设备采用3点式支撑（Pin角向内距离≤5mm）；
3.3 自动化要求
自动化设备（能够自动上下片）、同时兼容手动放片模式
其他要求详见标书
二、资格要求
（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：
1、具有独立承担民事责任的能力。
2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。
3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
5、法律、行政法规规定的其他条件。
6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。
7、未被列入“信用中国”网站(http://**.cn )失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国 (略) ”（http://**.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单， (略) 上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。
（二）特定资格要求：
1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。
2、本次招标不接受联合体投标。
三、供应商资料递交截止时间和地点
（一）截止时间：2024-01-23 17:00
（二）地点： (略) 东湖技 (略) (略) 6号
四、联系事项
采购联系人：冯莎莎 电话：027-#
技术联系人：蒋工 电话：159-8355-3651
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