招标公告

1. 招标条件

本招标项目中束流离子注入机招标人为 (略) 第二十四研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对中束流离子注入机进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX*A001

2.2 招标项目名称：中束流离子注入机。

2.3 数量：1台。

2.4 主要功能要求：本次购买的中束流离子注入机用于晶圆掺杂工艺。其原理是通过先将所需杂质电离，然后由电场引出，再通过磁场筛选，形成一个集中的离子束，最终注入到硅片中，达到掺杂目的。中束流离子注入机由气源柜、离子源腔室、离子束腔室、工艺腔室、传送模块、操作控制模块、厂务动力模块等模组组成。

2.5 交货地点： (略) (略) 西永大道23号

2.6 交货期：合同生效后6个月。

3. 投标人资格要求

3.1投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照。

3.2业绩要求：投标人需提供本次投标同型号或同系列的中束流离子注入机设备从2022年至今累计销售量至少5台并验收合格的业绩；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物名称及其型号；同时提供验收合格的证明材料。

3.3 其它要求：本次招标不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于2025年03月13日至2025年03月20日17时(北京时间)，登* (略) （网址：http://**.cn,注册操作咨询电话010-*）购买并下载招标文件，现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价800元（从 (略) 下载标书款电子发票），售后不退。

5. 投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2025年04月03日9时30分，地点为圣荷酒店会议室（ (略) (略) 西永大道36号）。

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在 (略) 和中国 (略) 上发布。

7. 联系方式

招标人名称： (略) 第二十四研究所

地址： (略) (略) 西永大道23号

联系人：吴先生

电话：023-*

招标代理机构：中科信工程咨询（北京） (略)

地址： (略) (略) (略) (略) (略) 口东南角88号大楼

售卖联系人：李经理

电话：028-*

项目负责人：唐玲

电子邮件：*@*onkex.com

招标公告

1. 招标条件

本招标项目中束流离子注入机招标人为 (略) 第二十四研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对中束流离子注入机进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX*A001

2.2 招标项目名称：中束流离子注入机。

2.3 数量：1台。

2.4 主要功能要求：本次购买的中束流离子注入机用于晶圆掺杂工艺。其原理是通过先将所需杂质电离，然后由电场引出，再通过磁场筛选，形成一个集中的离子束，最终注入到硅片中，达到掺杂目的。中束流离子注入机由气源柜、离子源腔室、离子束腔室、工艺腔室、传送模块、操作控制模块、厂务动力模块等模组组成。

2.5 交货地点： (略) (略) 西永大道23号

2.6 交货期：合同生效后6个月。

3. 投标人资格要求

3.1投标人须为具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照。

3.2业绩要求：投标人需提供本次投标同型号或同系列的中束流离子注入机设备从2022年至今累计销售量至少5台并验收合格的业绩；须提供设备采购合同复印件，其内容须体现合同首页及签字或盖章页、合同签订时间、合同标的物名称及其型号；同时提供验收合格的证明材料。

3.3 其它要求：本次招标不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4. 招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者，请于2025年03月13日至2025年03月20日17时(北京时间)，登* (略) （网址：http://**.cn,注册操作咨询电话010-*）购买并下载招标文件，现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价800元（从 (略) 下载标书款电子发票），售后不退。

5. 投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2025年04月03日9时30分，地点为圣荷酒店会议室（ (略) (略) 西永大道36号）。

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在 (略) 和中国 (略) 上发布。

7. 联系方式

招标人名称： (略) 第二十四研究所

地址： (略) (略) 西永大道23号

联系人：吴先生

电话：023-*

招标代理机构：中科信工程咨询（北京） (略)

地址： (略) (略) (略) (略) (略) 口东南角88号大楼

售卖联系人：李经理

电话：028-*

项目负责人：唐玲

电子邮件：*@*onkex.com